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国产大行程影像测量仪通常采用先进的光学技术和图像分析算法,确保测量结果的准确性和一致性。,适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。
特点:
1、行程大,测量范围更广
2、自主开发QMS3D软件,可满足客户不同测量需求
3、具有快速自动对焦、自动寻边,强大的编程和自动测量功能
4、采用亚像素细分技术,提高边界分辨能力
5.、配置操纵手柄,亦可软件程控
6、SPC数据处理分析,大批量治具测量
7、X、Y、Z三轴伺服控制,定位精度高速度快,运行平稳
8、采用自主开发的嵌入式模块控制系统,将复杂的控制系统集成于仪器内部,稳定性更高
9、程控恒流驱动式八区表面冷光光源,可适应复杂的工件测量
10、X、Y向导轨采用高精度花岗石,具有高稳定性及刚性,不易变形
11、X、Y向移动的部份采用低摩擦,高速度,高精度的气浮移动导向系统
12、采用同布带或丝杆传动,精度高,稳定性好
13、花岗石直线度和玻璃平面度好,花岗石导轨无摩擦、不磨损
14、可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置,快速定位,方便快捷
技术规格参数:
型 号 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
工作台 | 玻璃台尺寸(mm) | 640×770 | 640×1070 |
运动行程(mm) | 600×600 | 600×900 | |
Z轴升降行程(mm) | 150 | ||
示值误差(μm) | E1XY=(2.5+L/200) | ||
X、Y、Z数显分辨率 | 0.5μm | ||
影像系统 | 摄像机:1/2"彩色CCD摄像机 | ||
变倍镜头倍率:0.7X~4.5X 视频总倍率:20X ~128X(21.5”显示器) | |||
物方视场:11.1mm~1.7mm | |||
仪器外形尺寸(L×W×H) | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
仪器重量(Kg) | 1281 | 1500 | |
功率 | 1000W(不含电脑) | ||
电源 | AC 220V 50/60Hz | ||
气源压力 | ≥0.5MPa | ||
空气流量 | 120L/min(0.4MPa) | ||
温度范围 | 20±2℃ ,<1℃/h ,<2℃/24h ,<1℃/m | ||
湿度 | 55%~65% |