HORIBA宽范围压敏质量流量计日本制造

HORIBA宽范围压敏质量流量计日本制造

微流量压力不敏感质量流量模块

D700uF（微流）专为≤5SCCM 流量应用而设计。≤5SCCM
流量控制在高纵横比工艺中非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

• 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

• 精确调节气体控制，增强工艺可调性

• ≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制

• 实现高生产率和更佳工艺性能

• 内部流量计量

• 所有制造产品均具有可靠的性能

• 状态监视功能

• 提供更多内部数据以实现更智能的故障预测

• PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭性能和耐腐蚀性能

• 坚固耐用，颗粒风险低，减少停机时间并优化产量

*1：请联系我们以获取支持的气体类型和满量程流量。
*2：流量精度可保证低至 0.1 SCCM N₂ 当量。
*3：这是在 25 ℃ 和 ≤ 1.0 × 10 -3 Pa(A) 下的保证值。
*4：这是在我们采用校准 N₂ 气体的条件下保证的值。设置时间可能因气体类型和操作环境条件而异。
*5：压力扰动必须小于每秒 20% 的压力变化和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*6：EtherCAT ®是德国 Beckhoff Automation GmbH