日本HORIBA紧凑型质量流量计控制器

日本HORIBA紧凑型质量流量计控制器

D700T是专为关键半导体制造工艺设计的性能最佳的压力不敏感质量流量模块。D700T采用HORIBACRITERION基于压力的流量测量和控制技术，提供业界的可重复和准确的性能。此外，D700T在于采用双阀结构高级流量控制算法，使客户的气体输送系统能够解决多个挑战。

全局快速沉降时间<100ms(一组一组，升压和降压)

入口和出口压力不敏感性能

先进的故障检测，诊断压力传感器移位、阀座泄漏和流量精度变化

士0.8百分比(华氏涅度10-100百分比)

士0.08%华氏度(0.2-10%6华氏度的)

士0.05%S.P./C(10-100华氏度)士0.005%华氏度/C(0.2-10华氏度))

士0.5%苏格兰元/年

士0.15%S.P.(10-100%F.S.)

士0.015%6华氏度(0.2-10%华氏度)

<100亳秒(1-100华氏度)

<500亳秒(0.2-1华氏度)

士1%标准差(10-100%6华氏度)士01%标准差(0.2-10华氏度))

≤0.02%F.S.或0.015 SCCM(N，)，以较大者为准

D717T

工艺气体(不可配置)

不可配置

M:240-450kPa(A)(不可配置)

>240千帕(D)

<53.3千帕(A)

0.5-100华氏度

士0.8百分比(华氏涅度20-100百分比)

士0.16%华氏度(0.5-20%6华氏度)

士0.05%S.P./°C(20-100°F.S.)士0.01%S.S./°c(0.5-20°F.s.)

士1%苏格兰元/年

士0.15百分比(华氏涅度20-100百分比)

士0.03%6华氏度(0.5-20%6华氏度)

正常关闭/压电执行器

<100亳秒(1-100华氏度)

<500毫秒(0.5-1%华氏度)

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以较大者为准

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以较大者为准

士19标准偏亚(20-100百分比标准偏无)

士0.2%华氏度(0.5-20%华氏座)

<0.1%F.S.或0.015SCCM(N，)