系统概述
骇思HyperPureX ICM-E系列集成电路电子级超纯水系统以严谨的合规性指导系统的设计、制造、安装和验证的全过程，以模块化的设计集成了多介质过滤、活性炭吸附、软化、二级RO2nd、脱气、EDI、超滤、紫外杀菌和TOC降解、树脂超纯化、以及终端微滤各纯化单元，广泛应用于半导体晶圆及液晶屏清洗、芯片等各种精密电子元器件的加工和制造。
水质标准
GB/T 11446.1-2013、GB/T 33087-2016、ASTM D1193-06等规定的水质标准
工艺路径
1. 预处理系统+二级反渗透RO2nd系统+脱气系统+EDI系统+超纯化系统+储存分配系统
性能特点
10“彩色触控屏及 PLC控制模块且具有物联网（IOT）和云平台功能的全自动控制系统；
模块化设计理念，结构紧凑，便于操作及后期维护；
整套设备可以排空设计；
可根据客户原水水质优化调整工艺路线；
系统内部部分浓水可回收，可提高系统回收率至80%以上；
确保过程检验、质量监控、验证文件符合用户需求；
应用范围
液晶面板制作、半导体晶圆、芯片等各种精密电子元器件行业的加工和制造
