高精度配气仪是基于热式气体质量流量控制器，来进行各种气体混合，浓度稀释的一种装置，可稀释范围宽，精度高。可根据客户的需求定制不同的气体、流量、浓度稀释范围，并利用软件进行控制和二次编程。还可以定制加入一些温度、压力的监测功能；压力调节功能；湿度控制功能；数据记录功能；故障报警提示功能；可以说是一整套气体解决方案。

适用研究方向：气体传感器，气敏元件，燃料电池、生物化工，生物工程等需要极低浓度长时间稳定输出的工况。

设备功能：高精度配气仪通过自动动态调节两级气体配比流量，逐级配气，并通过创新算法及管路结构达到高于普通一级配气三个数量级的浓度配比输出。

技术特点：

浓度配比输出范围宽可以实现 1ppb-90%的浓度比例输出

通过创新的结构及软件控制方式可实现长时间稳定低浓度气流输出

设备可按照客户定制气体种类及应用工况温度

可直接按输出浓度自动配气

主要参数：

流量范围：0-10SLM

浓度输出范围：1ppb-99.9%

气源要求：纯气

加热温度：室温-100℃

气体：N2、H2、02、He、Ar、CH4、S02、C02、CO、等气体