设备名称：高精度气体标定仪

适用研究方向：面向MFC生产厂商及需要大批量测试MFC性能的量产及研发部门。

设备功能：高精度气体标定仪通过触摸屏工控机与用户交互，只需要用户执行任务，并选择接口形式，通过客户开始标定指令进行全自动流量精度采集，并显示实时精度及响应曲线，最终检测各项MFC指标打印纸质报告。

技术特点：

◆以ARM架构设计的MCU为控制单元，辅助多种采集卡，实现多通道高速采集；

◆平台能够同时检测多路MFC并提供多种接口属性；

◆能够实现多种接口形式MFC的检测，接口包括Devicenet，Profibus，模拟电压，模拟电流，RS485，ZIGBEE无线控制；

◆能够检测的指标包括：精度、重复度、线性度、响应时间、零漂主要参数；

◆能够通过集成的打印机与工控机相连，直接将检测报告打印成书面形式。

主要参数：

◆流量范围：0-300SLM

◆气体：N2空气等常规无强腐蚀气体

◆压力范围：1MPa以内进气压力