精密离子减薄仪利用聚焦氩离子束 对样品上下表面同时进行轰击，利用 动量交换方式实现对样品进行精细减 薄，获得满足电子束穿透厚度的薄区 供透射电镜观察。

迈科英诺型号UFM-1000离⼦束切割抛光仪采用电磁及永磁体结合双聚焦离子枪设计，保证足够大的抛光面积的同时兼顾抛光速度。全电动控制马达样品台，能够实现样品自动对位，提升制样重复性。可选配液氮冷台，去除离子束制样的高温对样品的破坏，满足温度敏感材料制样需求。配备转移横截面切割定位装置，能够实现微米级精准对位，满足半导体、锂电池等需要精确切割制样需求。10英寸全触屏控制，支持配方式操作，大大降低对使用人员的经验要求。通过配备的专业光学显微镜，可实现对制样过程实时监控和判断。

技术优势

◆ 聚焦离子束：永磁体聚焦结合电磁聚焦，离子枪无耗材；

◆ 电动样品对位：样品放入设备自动实现样品高度对位，提升设备自动化；

◆ 多功能：同时支持横截面切割及平面抛光，以及扩展真空转移。

主要应用

• 扫描电镜制样

• EBSD制样

• AFM制样

• 锂电池

• 半导体

• 石油地质

• 高分子材料

横截面切割装样器