精密离子减薄仪利用聚焦氩离子束 对样品上下表面同时进行轰击，利用动量交换方式实现对样品进行精细减薄，获得满足电子束穿透厚度的薄区供透射电镜观察。

迈科英诺型号UFM-2000精密离子减薄仪采用电磁及永磁体结合双聚焦离子枪设计，高电压离子束散开获得更大薄区，低电压汇聚提高精修效率。可选配液氮冷台，去除离子束制样高温带来的相变、缺陷迁移、优先减薄等人为干扰，满足温度敏感材料制样需求。10英寸全触屏控制，支持配方式操作，大大降低对使用人员的经验要求。通过配备的专业光学显微镜，可实现对制样过程实时监控和判断。

技术优势

◆ 聚焦离子束：永磁体聚焦结合电磁聚焦，离子枪无耗材；

◆ 束斑调节功能：通过调节束斑尺寸可满足大薄区制样及快速精修；

◆ 定点减薄：配备X/Y方向定点减薄夹具，千分尺精确控制。

主要应用

◆ 陶瓷 ◆ 玻璃 ◆ 地质 ◆ 半导体 ◆ 金属及合金

离子减薄装样器及标准夹式样品台