高温实验室开启式RTP快速升降温管式炉产品描述：

  RTP快速升降温管式炉外形美观大方，结构设计*合理。以卤素灯管为加热元件，采用双层壳体结构和智能化程序控温系统，炉膛采用多晶纤维材料，保温节能。

产品功能及特点：

1、加热元件采用卤素灯管加热，炉膛保温材料采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于国内纤维材料。

2、整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1000℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。

4、炉体配有：加热指示灯，炉子加热状态一目了然。

5、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。

高温实验室开启式RTP快速升降温管式炉开启式RTP快速升降温退火炉，是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用*制造工艺，造型新颖结构合理，炉体上下两半设计，可自由打开闭合，安全可靠，炉管外径100mm，炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高温保护涂层，既能降低热量损耗，还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内，内部洁净度高，可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热，升温速度快达30℃/S，炉体下部配有轨道，可左右移动至底部风扇处，以达到快速冷却的目的。

技术参数：