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半导材料四探针测试仪
BDST-300C半导电材料电阻测试仪
一、适用范围
● 使⽤四探针治具测试⽚状或块状半导体材料、⾦属涂层以及导电薄膜等材料的⽅阻和电阻率
● 使⽤开尔⽂测试夹直接测试电阻器直流电阻;
四端测试法是目前较先进之测试方法,主要针对高精度要求之产品测试;本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。
四探针测试仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电导率单位自动选择,材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成图表和报表。
四探针测试仪采用4.3吋大液晶屏幕显示,同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、单位自动换算,配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
提供中文或英文两种语言操作界面选择,满足国内及国外客户需求
四探针⽅阻测试仪是运⽤四探针原理测量⽅块电阻的专⽤仪器,电阻率和电导率同时显⽰。仪器
测试范围0-10MΩ,最⼩分辨率0.1uΩ,电阻精度0.01%,精度2%。可⽤于测试半导体、⾦属涂层导电薄膜等材料的⽅阻和电阻率。
四探针测试仪特点:
1、电阻精度:0.01%,最小分辨率0.1uΩ;
2、方电阻精度:1%,最小分辨率:0.1uΩ;
3、双电测原理,提⾼精度和稳定性;
4、测试探头直排和矩形可选;
5、标配RS232、LAN、IO、通讯接⼝;
6、可配戴软件查看和记录测试数据;
二、仪器参数
1. 便于查看的显示/直观的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示;操作易学,直观使用;
2. 基本设置操作简单,方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果;多种参数同时显示。
3. 精度高:电阻基本准确度: 0.01%;
方阻基本准确度:1%;
电阻率基本准确度:1%
4. 整机测量最大相对误差:≤±1%;整机测量标准不确定度:≤±1%
5. 四位半显示读数;十量程自动或手动测试;20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10档分选;实现HIGH/IN/LOW分选
6. 测量范围宽: 电阻:10-7Ω~10+8Ω ;方阻:10-7Ω/□~10+8Ω/□;
7. 正反向电流源修正测量电阻误差
8. 恒流源:电流量程为:DC100mA-1A;仪器配有恒流源开关可有效保护被测件,即先让探针头压触在被测材料上,后开恒流源开关,避免接触瞬间打火。为了提高工作效率,如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时,恒流源开关可一直处于开的状态。
9. 可配合多种探头进行测试;也可配合多种测试台进行测试。
10. 校正功能:可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。
11. 厚度可预设,自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。
12. 自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。
13. 双电测测试模式,测量精度高、稳定性好.
14. 具备温度补偿功能,修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。
15. 比较器判断灯直接显示,勿需查看屏幕,作业效率得以提高。3档分选功能:超上限,合格,超下限,可对被测件进行HI/LOW判断,可直接在LCD使用标志显示;也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。
16. 测试模式:可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。
17. 软件功能(选配):软件可记录、保存、各点的测试数据;可供用户对数据进行各种数据分
析。
18.显示语言 英文/中文
19.供电模式110v/220v