Ionfab 300 IBD

Ionfab 300 IBD

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具体成交价以合同协议为准
2022-11-30 16:04:22
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牛津仪器(上海)有限公司

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产品简介

客户选择我们的离子束沉积产品是因为它们能够生产具有高质量，致密和表面光滑的沉积薄膜。离子束技术提供了一种多样的刻蚀和沉积的方法，并可在同一设备上实现， 因而提高系统的利用率。我们的设备具有灵活的硬件选项，包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统规格与实际应用紧密协调，以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。 询价 增加到询价列表 在询价列表中查看此产品

详细介绍

  • 质量薄膜高 ——超低污染
  • 产量高，紧凑的系统体积设计­——运行成本低
  • 高速衬底架（高达1000RPM）设计，并配备了白光光学监视器（WLOM）——更为精确的实时光学薄膜控制
  • 配置灵活 ——适于良好的研究应用
  • 灵活的晶圆操作方式 —— 直开式、单晶圆传送模式或者带机械手臂的盒对盒模式
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