白光干涉测量仪的测量原理及优劣势

白光干涉三维形貌仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。
    白光干涉测量法已被用来测量微间隙的厚度。采用这种方法来颜值浮动块。浮动块作为磁传感器的载体，它与磁盘表面考得很近。如果正确设计浮动块的表面形状，并在其上施加适当的载荷，由于在旋转的盘片上存在附面层，于是在浮动块下形成自起作用的空气轴承。
为了评价这些浮动块的性能，必须确定某些参数，例如浮动块的表面形状，稳态的浮动块与盘面间的间隙等。由于这些参数只是具有少数几种可见光波长的大小，故其测量可采用光干涉测量法的分辨率超过单射光法的分辨率。
白光干涉条纹是一条连续的彩色光谱，而不是单色光法那样的明暗相间的条纹。间隙厚度小于1微米时，这些彩色干涉条纹其分辨率为0.05微米，与之相比，目前用来测量这些参数的可见单色光干涉条纹的分辨率，只有0.15-0.20微米。
浮动块与旋转盘面之间能维持自起作用的润滑膜（有时称为流体动力摩擦润滑）。由于契形效应，这个润滑膜产生承载能力。润滑膜的工作状态，由有特定边界条件的方程决定。磁记录主要发展方向之一是不断努力去达到较高的记录位密度。
白光干涉测量法已用来评定浮动块的各个参数，例如测定浮动块的表面形状及稳态的浮动块与磁盘间的间隙。这种方法之所以有这些用途，是因为该法有非常好的分辨能力，其范围可以测量大多数参数。这种方法的另一个理想的特点就是装置简单，即有一台显微镜，内装照射的光源，同事它能够拍摄全视域性彩色照片。
通常，在浮动块上要检验的个参数是表面轮廓。对每一个浮动块来说，表面轮廓决定了汽浮的特性，随后，在给定的速度下，又影响浮动块与磁盘的间隙。利用守载的浮动块对着光学平晶的办法，来检验浮动块的表面轮廓，光学平晶模拟盘表面。然后，用一台显微镜透过光学平晶来检级浮动块的表面轮廓。由浮动块表面轮廓产生的干涉条纹彩色照作为测量数据报告。