等离子体原子发射光谱仪采用原子发射光谱学的分析原理，样品经过电弧或火花放电激发成原子蒸汽，蒸汽中原子或离子被激发后产生发射光谱，分光室色散成各光谱波段，根据每个元素发射波长范围，通过光电管测量每个元素的谱线，每种元素发射光谱谱线强度正比于样品中该元素含量，通过内部预制校正曲线可以测定含量，直接以百分比浓度显示。
等离子体原子发射光谱仪常见故障及其相应处理办法如下：
电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的start状态不对有时变为黄色不动，有时虽然动但是变为红色，
处理办法：此为通讯线接触不良，重新连接即可。
排气不畅故障，氩气排气管路堵塞，火花室下部的弯头内有异物，氩气过滤器入口端有异物。
处理办法：更换排气管，要更换透明的塑料管，并定期对排气管路进行吹扫。
温度偏高故障
处理办法：检查仪器后盖风扇是否转动，转动是否灵活。
真空泵不自动启动故障，
处理办法：先看泵油温度是否较低，重新断电后，手动启动真空泵，有时需停顿一下，再试。
p、s稳定性不好，检查真空泵是否被误关掉，真空光路镜片是否需要清洗，一个维护不好的光路会导致错误的重现性和分析结果。
处理办法：检查真空泵及清洗镜片
真空值下降快故障
处理办法：看真空值曲线是否平缓，否则，有漏气的地方，检查真空室真空盖密封性，更换密封圈或对角紧固螺丝，
光强值下降
原因分析：
1、透镜脏
2、入射狭缝污染
3、光纤老化
处理办法：擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤。
经验总结：等离子体原子发射光谱仪用久了，激发台会因点打的太多了，出现放电漏气现象，导致光强上不去，需要经常清理激发台板及火花室。
数据不稳定
处理方法：清洗镜片后重新做标准化，仪器镜片的污染会导致数据测试的结果不稳定，长时间没有做仪器的曲线校准也会导致数据测试稳定性不好。
