样品首先被雾化器吹散成粒径为1-10 µm之间的气溶胶，经氩气由中心管注入等离子体中，雾滴在进入ICP之前，经雾化室除去大雾滴使到达ICP的气溶胶微滴快速地去溶、蒸发、原子化和离子化，从而发射出各元素的特征发射谱线，经光学系统分光后，根据发射谱线的强度与溶液中的已知元素浓度进行标准曲线校正，从测得的未知样品元素强度从而得到浓度值。
电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）技术的先驱是Greenfiald和Fasel，他们在1964年分别发表了各自的研究成果。七十年代后该技术取得了真正的进展，1974年美国的Thermo Jarrell-Ash公司研制出了第一台商用电感耦合等离子体原子发射光谱仪
Thermo iCAP 7000系列电感耦合等离子体原子发射光谱仪的技术特点：
iCAP 7000系列是Thermo Fisher 新开发的ICP光谱仪，从2013年全球发布，以其优异的性能、设计、人性化易使用和多用途高效率等特点吸引了很多客户的眼球。 iCAP 7000具有双向和垂直两种观测方式，可以适用于要求低检出限和耐复杂基体各种应用的需求。RACID86检测器具有60％以上的紫外量子化效率，提高了Al 167、P 174和B182谱线的灵敏度， 15秒积分时间可以获得亚ppb级的检出限，尤其是紫外谱线的检出限在同类仪器中处于地位。新型固态RF发生器采用变频快速匹配，适合于有机样品直接进样。CFD等离子体炬室设计，耐高温的SiN锥口，可有效去除水平炬的尾焰，并保持良好紫外灵敏度。精密机内恒温和先进波长校准技术确保长期稳定性，无需重复曲线校准。高分辨率，200 nm处光学分辨率为0.007nm，P213.618、Cu213.598nm谱线可分开。高效快速分析，可在1分钟内完成多达60个元素的测定。270℃人体工学设计大进样室，前置大蠕动泵，中心管和炬管使用卡式安装拆卸，快速简便。EMT炬管适合于包括30％盐水等高基体样品分析，延长使用寿命，方便更换清洗。等离子体冷却气流量低，光室采用多点分布驱气方式，远紫外区可快速达到真空，节省氩气消耗。FullFrame全谱摄谱研究模式可以拍摄“指纹”谱图，进行材料杂质元素识别，全谱图比对和基体谱图差减，方便元素定性和半定量测定。Qtegra软件提供对仪器所有功能全自动控制；数据库兼容性好，并符合FDA 21CFR Part 11 规范
