三维表面形貌测量仪可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头，也可配备普通变焦镜头，使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量，也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。系统配有的相移条纹图像处理软件，使得系统测量精度明显提高，并且使用方便、操作简单。
工作原理是光学小景深测量与精密垂直扫描相结合。光源所发出的光线经过共轴的分光棱镜和物镜，聚焦照射到样品表面上并发生反射，所反射光学信号经由分光棱镜被信号传感器接收。通过连续的自动的垂直扫描技术以及先进的图像运算处理技术，获得样品完整的表面三维形貌。
三维表面形貌测量仪的应用：
1、精密部件3D尺寸及段差测试；
2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；
3、3D玻璃缺陷检测；
4、半导体表面缺陷测试；
5、多层薄膜厚度测试。
