3D轮廓测量仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
3D轮廓测量仪可以加装激光、探针、转台等传感器，实现一个坐标系下的多元传感的综合应用，使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量时因为热变形所产生的误差，并避免了由于碰触引起的变形。3D轮廓测量仪可用于高亮度LED、半导体器件、汽车零部件、触摸屏和精密加工零件及航空航天、科研院所等领域中。为用户提供快速、准确的三维非接触式测量。
3D轮廓测量仪使用的注意事项：
1、测量结束，退出系统，关闭电脑，切断电源；
2、测量完毕后用棉花拈航空汽油清洗工作台及夹具，并涂油防锈；
3、仪器配件要注意防锈；
4、要定期（具体周期视环境定）清洁气浮导轨，以保证导轨的精度。
