翘曲度，用于表述平面在空间中的弯曲程度，在数值上被定义为翘曲平面在高度方向上距离最远的两点间的距离。绝对平面的翘曲度为0。翘曲变形是评定产品质量的重要指标之一。对于相同翘曲影响模式的同一产品时，这些指标可以描述不同设计的翘曲变形的大小程度。但对于不同材料、模具结构等造成翘曲变形的影响模式改变的因素，不同设计下各部分的翘曲变形严重程度也随之改变。
美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪具有哪些特殊功能？
1、多重导向销设计，手动装载样品，有优异的重复性与再现性研究。
2、优异的分辨率——测量0.2um弓形高度变化超过 20M 的平镜(大约 0.8%)
3、全3D测绘的手动旋转平台。
4、测量局部应力---测量42点/mm 并大于8400点/200mm晶圆。这种测量密度获得更好的信号噪声比。
5、良好封闭的设计，温度更稳定。
6、特殊的设计使震动偏移降到较低。
7、图形式使用界面更容易使用。
8、当改变弹性模数，晶圆或薄膜厚度设备会自动重新计算应力保存数据文档。
9、可以计算双轴弹性模量和线膨胀系数。
10、可以计算应力的均匀性。
11、可以输出数据到Excel，提供给SPC分析。
