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FR-InLine-在线薄膜厚度测量仪
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岱美仪器技术服务（上海）有限公司（Dymek Company Ltd ，下面简称岱美）成立于1989年，是一间拥有多年经验的高科技设备分销商，主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今，岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国香港，中国大陆（上海、东莞、北京），中国台湾，泰国，菲律宾，马来西亚，越南及新加坡等地区。
岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品：
晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器、定心仪等。
岱美重要合作伙伴包括有：
Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,
n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...
如有需要，请联系我们，了解我们如何开始与您之间的合作，实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。
详细信息
1、简述
FR-InLine 是一款模块化可扩展的在线薄膜厚度测量仪（膜厚仪），可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。
FR-InLine 在线薄膜厚度测量仪(膜厚仪)并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量，例如：反射率和透射率光谱、厚度、色座标。
FR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。
2、产品应用
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透明和半透明涂层
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眼镜上的涂层
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食品工业
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光学薄膜
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包装
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粘合剂
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聚合物
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可挠式电子和显示器
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其他各种工业……
（联系我们了解您的应用需求）
3、产品特征
FR-InLine 膜厚仪提供半宽（蕞多 4 通道）和全宽（蕞多 8 通道）3U 机架安装机箱，可实时测量涂层的薄膜厚度。 FR-InLine 通过标准I/控制埠为启动/停止/复位功能提供外部触发选项。测量数据可立即供其他软件使用，以进一步调整生产流程。工程师可以轻易完成安裝。
4、附件
FR-InLine 附带多个附件，例如：
§TCP/IP 通信
§支持任何特定需求长度和配置的反射探头和光纤
§光学模块（例如聚焦透镜、运动支架），以协助探头安装在产线上
5、其他特点
提升流程运行时间和产品质量
减少原材料消耗和成本控制
6、FR-InLine 规格（标准配置）
| Model | UV/Vis | UV/NIR-EXT | VIS/NIR | NIR | NIR-N1 |
| WLRange–nm波长 | 200–850 | 200–1020 | 370–1020 | 900–1700 | 850-1050 |
| Pixels像素 | 3648 | 3648 | 3648 | 512 | 3648 |
| ThicknessRange*1 | 3nm-80um | 3nm-90um | 15nm-90um | 200um | 1um-400um |
| n&k-MinThick | 50nm | 50nm | 100nm | 500nm | |
| Thick.Accuracy*2 | 1nm/0.2% | 1nm/0.2% | 1nm/0.2% | 3nm/0.4% | 50nm/0.2% |
| Thick.Precision*3,4 | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.1nm | |
| Thick.stability*5 | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.15nm | |
| LightSource | ExternalDeuterium&Halogen,2000h | Halogen(internal)3000h(MTBF) | |||
| IntegrationTime | 5msec(min) | 5msec(min) | |||
| Spotsize | Diameterof350um(smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest) | ||||
| MaterialDatabase | >700differentmaterials | ||||
| Connectivity | USBorTCP/IP | ||||
| Power | 100-240V50-60Hz | ||||
注：
*1、规格如有变更，恕不另行通知
*2、与校正过的光谱椭偏仪和x射线衍射仪的测量结果匹配
*3、超过15天平均值的标准偏差平均值，样品:硅晶片上1微米Si2
*4、标准偏差100次厚度测量结果，样品:硅晶片上1微米Si2,
*5、15天内每日平均值的2*标准差。样品:硅片上1微米Si2。
