磁控溅射镀膜机具有广泛的应用领域,具体如下:
功能薄膜领域:各种功能性薄膜,如吸收、透射、反射、折射、偏振等作用的薄膜,例如低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。
装饰领域:各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳、鼠标等。
微电子领域:作为非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机物化学气相沉积(MOCVD)中,用于生长薄膜材料。
光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术已应用于光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面。透明导电玻璃广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。
机械加工行业:表面功能膜、超硬膜、自润滑薄膜的表面沉积技术自问世以来得到长足发展,能有效的提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能,从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命。
其他领域:在建材和民用的工业中,磁控溅射镀膜技术可用于地砖等材料的表面处理,使材料更加结实耐磨,保持原来的质感。在铝合金制品的装饰中也有着广泛的应用,可以保证铝合金的装饰效果不变,同时使得铝合金装饰品更加的坚固结实。此外,在玻璃深加工的产业中也有应用,可以生产更多更高品质的玻璃制品。
总的来说,磁控溅射镀膜机在多个领域都有应用,主要涉及材料科学、电子工程、能源科学等。