扫描电镜( SEM )是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法，它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成，形态和结构。 入射电子作用于样品会激发多种信息，如二次电子，背散射电子，吸收电子，俄歇电子，阴极荧光，特征 X 射线等等。 扫描电镜( SEM )主要是通过 二次电子，背散射电子和特征 X 射线( XRD )信号来分析试样表面特性。
场发射扫描电镜(FE-SEM)是一种高分辨率的显微镜，其基本原理是利用高能束电子射向样品表面，观察和分析样品表面形貌、微结构和成分等特征。FE-SEM的一个特点是使用场发射电子源，其产生的电子束密度比普通扫描电镜要小得多，因此可以提高分辨率和表面成像质量。
场发射扫描电子显微镜(FESEM)是电子显微镜的一种。该仪器具有高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。该仪器利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得忠实原貌的立体感强的样品表面超微形貌结构信息。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
扫描电子显微镜因其分辨率高、景深大、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。随着我国经济的迅速发展，高校、科研单位、企业等大量引进了场发射扫描电子显微镜。但是在扫描电子显微镜的使用过程中，特别是在安装初期，使用者通常由于对电镜的运行状态缺乏系统认识，经常会遇到软件死机、样品台被卡、真空问题等多种故障。解决方式一般为请维修工程师上门维修，除花费时间和费用外，也造成了对电镜操作者的心里束缚。
