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SBC-12小型离子溅射仪
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生产厂家北京中科科仪光电科技有限公司是北京中科科仪股份有限公司注册的全资子公司,追踪电子光学技术,不断推出适应市场,满足客户需求的电子光学产品,为客户提供系列标准化扫描电子显微镜、定制电子光学仪器、辅助设备、制样设备以及系统集成的解决方案。
产品介绍:
SBC-12离子溅射仪 主要用于扫描电子显微镜镀覆导电膜制备或电极制备等,通常是中小型扫描电子显微镜制样的仪器。
主要用途:金、铂、钯、金钯合金、铂靶合金、银、铜、锑、锡、锌、铟、镁等离子溅射
SBC-12小型离子溅射仪规格及技术指标:
玻璃处理室 : 内径Ф 100毫米 x 高度130毫米
试样台尺寸 : 内径Ф 40毫米, 可同时放六个φ13样品杯
金靶尺寸 : Ф58毫米
真空系统 : 直联旋片真空泵1升/秒
真空检测 : 皮氏计
真空保护 : 20Pa,配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体: 空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节。
质保期 :一年
SBC-12小型离子溅射仪 配置单:
序号 | 项目 | 规格 | 数量 |
1 | 溅射仪主机 | SBC-12 | 1台 |
2 | 机械泵 | RVD-1 | 1台 |
3 | 金靶 | Φ58*0.12 | 1片 |
4 | 玻璃罩 | Φ130*100 | 1个 |
5 | 油雾过滤器 | - | 1个 |