扫描电子显微镜具有辩率高、景深大、成像立体感强的特点，能同时分析形貌和成分，可用于形貌观察、显微结构分析、微区成分分析、断口形貌和成分分布分析等，还可进行样品的原位动态观察和特定环境实验，在材料、纳米科学、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。
场发射扫描电镜是一种高分辨率的电子显微镜技术，可用于观察样品表面的微观结构。它使用场发射电子源产生高能电子束，并通过透镜系统将电子聚焦到样品表面上。样品与电子束相互作用后，产生的反射、散射和二次电子等信号被收集并转换成图像。
扫描电子显微镜以电子束为光源，以光栅式扫描方式将精细聚焦的电子束照射到样品上。二次电子、背散射电子等。电子与样品之间相互作用所产生的电子然后被收集和处理，以获得显微形貌的放大图像。
主要功能用途：
场发射扫描电子显微镜(FESEM)具有高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像观察及图像处理。
具有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
场发射扫描电子显微镜的原理是利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析，是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。
扫描电镜按照电子枪分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射(FieldEmission)三种，场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧，具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
场发射扫描电子显微镜的优点：
(1)有较高的放大倍数，20-30万倍之间连续可调；
(2)有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；
(3)试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪(EDS)装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。
