全自动离子溅射仪是一种用于在扫描电镜样品制备、电极材料研究等领域中,通过磁控方式实现高真空环境下的精确镀膜的设备。离子溅射仪为扫描电镜用户在制样过程中提供了更广泛的选择,以便适用支持扫描电子显微镜所需的涂层要求。在结构设计及人机界面方面更加注重人性,简单智能。
全自动离子溅射仪全自动操作,简单易用。该仪器非常适合用于钨灯丝、台式扫描电镜等应用。它具有以下功能:
(1) 溅射电流自动调整:在设定了溅射电流后,系统会自动调节真空度,以达到设定的溅射电流。调整时间小于5秒,波动范围小于±5%。用户无需按下“实验”键来调整溅射电流,也无需操作“进气阀”。
(2) 溅射时间自动记忆:对于同类样品,只需进行一次设定即可。
(3) 参数改变自动调整:在溅射过程中,用户可以随时调整溅射电流和溅射时长。系统会自动计算叠加,无需终止溅射过程。
(4) 工作完成自动放气:当溅射过程完成后,系统会自动放气,方便用户取出样品。
(5) 样品台高度调节1秒完成:用户可以通过简单的操作快速调节样品台的高度,节省时间和精力。
(6) 溅射过程可以利用曲线显示,清晰直观:用户可以通过曲线图来观察溅射过程的变化,更加直观地了解实验进展情况。