一、反射镜移动精度要求高
白光干涉测量对光程差的改变非常敏感，即使是微小的移动也会导致显著的相位变化。因此，反射镜的移动必须非常精确，通常要达到纳米级别。这种高精度的移动要求机械系统具有良好的稳定性和分辨率。
二、机械系统稳定性挑战
反射镜的移动通常依赖于机械系统，如压电陶瓷、精密丝杠等。然而，这些机械系统容易受到温度、振动等外部因素的影响，导致移动不稳定。为了提高稳定性，需要采取一系列措施，如温度控制、减震设计等。
三、非线性误差的校正
机械系统在移动过程中可能会产生非线性误差，即移动量与预期值之间存在偏差。这种偏差会影响白光干涉测量的准确性。为了校正非线性误差，需要对机械系统进行精确的校准，并采取相应的补偿措施。
四、反射镜移动速度的控制
在某些应用中，需要快速改变反射镜的位置以实现高速测量。然而，机械系统的响应速度和加速度受到限制，可能导致无法及时完成所需的移动。因此，需要在机械设计中考虑高速响应和加速度的要求。
五、反射镜的定位精度
白光干涉测量中，反射镜的准确定位对于获取精确的测量结果至关重要。然而，由于机械系统的限制和外部环境的影响，反射镜的定位精度可能会受到影响。为了提高定位精度，需要采用高精度的传感器和反馈控制系统来实时监测和调整反射镜的位置。
六、机械磨损与寿命问题
长时间使用会导致机械部件的磨损和性能下降。在白光干涉测量中，这种磨损可能会影响反射镜的移动精度和稳定性。因此，需要选择高质量的机械部件并定期进行维护和更换。
综上所述，白光干涉中的机械相移技术难点主要涉及反射镜的移动精度、机械系统稳定性、非线性误差校正、移动速度控制、定位精度以及机械磨损与寿命问题。为了解决这些难点，需要采用机械设计和控制技术，并不断优化和改进测量系统。
TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪
一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪
1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现良好的重复性表现。
2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。
3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。
实际案例
1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm
2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描
3，良好的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
