- ¥10000001件起订
起订量：
透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2
- 型号
北京伊微视科技有限公司是一家专注于提供显微、膜厚测量以及光电测试设备的企业。
我们致力于为客户提供全面的显微设备，涵盖从毫米到纳米级别的多个领域。我们的产品线包括样品制备设备、体式显微镜、数码显微镜、金相显微镜、平面度测试仪、3D表面轮廓仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜以及透明晶圆缺陷扫描仪。
此外，我们还提供专业的薄膜测量设备，包括透明/半透明薄膜的反射光谱测量仪、用于纳米级别测量的椭偏仪，以及针对不透光金属镀膜的X荧光光谱测量仪。
在光电测量设备领域，我们正在不断拓展我们的产品线，已代理的产品包括Sinton的少子寿命测试和Fluxim测量软件。
尺有所短寸有所长，每一个品牌，每一台设备亦如此。在客户的需求上，提供解决方案，是我们服务的宗旨。我们不仅仅是设备的销售商，更是为客户提供解决方案的合作伙伴。
详细信息
简介：
透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2可以在3分钟内完成300毫米晶圆的扫描，对于基底上下表面的颗粒、凸起、凹陷、划痕、内含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底，如玻璃，化合物半导体如氮化镓、砷化镓、碳化硅等样品上有的势也可用于薄膜涂层的成像厚度变化的全表面扫描。样品300 x 300 mm。
厂商简介
Lumina Instruments，总部位于美国加利福尼亚州圣何塞，公司创始人在透明、半透明和不透明基板全表面缺陷检测创新了更快速准确的方法，因此创建了革命性的仪器品牌lumina.
技术创新
将样片放入系统中，3~5分钟即可完成扫描。
收集的数据将被分析，图像和缺陷图将由LuminaSoft软件生成。
感兴趣的缺陷可在扫描电子显微镜（SEM）、椭偏仪、显微镜等上进行进一步分析。
将样品放入系统
直径为30微米的绿色激光以50毫米的直线运动，反射光和散射光由四个探测器捕获。
四通道检测
透明晶圆缺陷扫描LuminaAT2有四个检测通道。它们同时运行以生成四个独立的图像。每个通道有助于检测和分类某些缺陷。
极化：薄膜缺陷、污渍
反射率：划痕、内应力*、玻璃内的条纹*
坡度：划痕、凹坑、凸起、表面形貌
暗场：纳米颗粒、包裹体
透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2和 AT2透明晶圆缺陷扫描LuminaAuto：AT2采取的样品的尺寸为450mm，AT2-Auto采取样品的尺寸为200mm。光斑的大小在都在60μm也可以选择30或10μm；灵敏度在300nm理想；扫描时间在40/50/120s。
