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OTF-1200X-4-C4LV 1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统 OTF-1200X-4-C4LV
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生产厂家沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供Z为实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。
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产品型号 | 1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV |
主要特点 | 1、采用高纯氧化铝保温材料,保证了*的温度均匀性。 2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高反射率和保护炉膛洁净度。 3、采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。 4、金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。 5、采用双管真空密封法兰,允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)。 6、冷却气体直接通入内管。 7、配有带KF25快接和波纹管的高速机械泵。 8、炉底部装有滑轨,炉体可从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温。为了获得较快的加热速度,可以 先将炉体预热,然后滑至放置样品处;为了获得较快的冷却速度,可将炉体滑至另一端,同时将冷气通入 样品所在处。 9、密封法兰系统采用不锈钢制作。 10、已通过CE认证。 |
技术参数 | 管式炉 1、电源:单相AC 208-240V 50/60Hz 2.5KW (20A保险丝) 2、石英管:外管外径Φ100mm,内径Φ96mm,长1400mm 内管外径Φ80mm,内径Φ75mm,长1400mm 3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝(表面涂有氧化锆) 4、加热区域:440mm 5、恒温区域:120mm(±1℃在400-1100℃) 6、工作温度:zui高1100℃,连续工作1000℃ 7、zui大升降温速率:20℃/min 8、控温精度:±1℃ 9、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(分子泵) |
质量流量混气系统 1、质子流量计:4路精密质子流量计,数字显示,气体流量自动控制 MFC1范围0-100sccm,MFC2范围0-200sccm,MFC3范围0-200sccm,MFC1范围0-500sccm 2、流量精度:0.2% 3、气路:4路(每个气路都有一个独立的不锈钢针阀控制) 4、进出气口:1/4″卡套 5、混气罐:1个 | |
产品规格 | 尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,移动架600mm×600mm×597mm 重量:135kg |
可选配件 | 1、分子泵 2、双温区管式炉 3、铜箔(生长石墨烯150mm×150mm×25µm) |