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4路质子混气管式PECVD系统
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沈阳科晶立足国内市场实际情况，以提供Z为实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上，产品的价格定位却仅仅是其几分之一。性价比不仅吸引了众多国内客户，而且令挑剔的外国客商也称赞不已，产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家，并大量出口于美国。
沈阳科晶为了更好地服务客户，专门设立了开放式专业实验室，配备了优秀的专业技术人员。在这里，不仅可以提供亲身的产品体验环境，而且还可得到专业人员的操作指导。开设以来，制作的样品达上千件，接待来访客参观户百余次，其中包括多次外国友人的来访。在此，沈阳科晶全体员工诚挚地欢迎您的到来，并希望您能提出宝贵的意见与建议。
沈阳科晶一路走过的历程，是为我国材料研究事业全力贡献的历程，是以实际行动将自己打造成国内材料分析设备品牌的历程，是与国外同行不断缩小差距的历程，是与广大客户相扶相持的成长历程。虽一路充满坎坷与荆棘，但坚持不懈的沈阳科晶人仍全力以赴的前行。秉承这份坚持，相信在不久的将来，沈阳科晶也将会成为市场上专业的、杰出的材料分析设备品牌，沈阳科晶的明天会更加灿烂辉煌。
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详细信息
产品型号 | 4路质子混气管式PECVD系统 |
主要特点 | 1、内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 2、辉光放电等离子体中电子密度可达109-1012cm3。 3、电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍。 4、配有高精度数字显示质量流量计，可准确地控制气体流量。 5、一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀。 6、不锈钢针阀安装在左侧部分，可手动控制混合气体的输入。 7、已通过CE认证。 |
技术参数 | 管式炉 1、电源：AC220V 4KW 2、炉管：Φ50mm，Φ60mm，Φ80mm都可用 3、温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器 4、加热区：440mm 5、恒温区：150mm |
等离子射频电源 1、输入功率：AC220V 1KW 2、输出功率：50-500W可调，±1% 3、RF频率：13.56MHz可调，±0.005%稳定 4、噪声：≤55DB 5、冷却：风冷 | |
真空泵和质量流量计 1、真空度：10-3torr 2、波纹管：KF25系列 3、质量流量计：0-200，误差0.02%，进气口采用标准双卡头 | |
产品规格 | 尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，供气及真空系统600mm×600mm×1250mm 重量：120kg |
可选配件 | 防腐型数字式真空计 |
