$item.Name

首页>实验室常用设备>制样/消解设备>其它消解设备

球形脉冲激光沉积系统(PLD)

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:电子
沈阳科晶自动化设备有限公司

高级会员19年 

生产厂家

该企业相似产品

平行板电容式PECVD

在线询价

1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

在线询价

1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

在线询价

4路质子混气管式PECVD系统

在线询价

带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV

在线询价

高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

在线询价

高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

在线询价

1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统 OTF-1200X-4-C4LV

在线询价
切割机,金刚石线切割机,研磨抛光机,提拉涂膜机,旋转涂膜机,真空镀膜机,管式炉,箱式炉,电池实验研究设备,清洗机

  沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供Z为实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。

  沈阳科晶为了更好地服务客户,专门设立了开放式专业实验室,配备了优秀的专业技术人员。在这里,不仅可以提供亲身的产品体验环境,而且还可得到专业人员的操作指导。开设以来,制作的样品达上千件,接待来访客参观户百余次,其中包括多次外国友人的来访。在此,沈阳科晶全体员工诚挚地欢迎您的到来,并希望您能提出宝贵的意见与建议。

  沈阳科晶一路走过的历程,是为我国材料研究事业全力贡献的历程,是以实际行动将自己打造成国内材料分析设备品牌的历程,是与国外同行不断缩小差距的历程,是与广大客户相扶相持的成长历程。虽一路充满坎坷与荆棘,但坚持不懈的沈阳科晶人仍全力以赴的前行。秉承这份坚持,相信在不久的将来,沈阳科晶也将会成为市场上专业的、杰出的材料分析设备品牌,沈阳科晶的明天会更加灿烂辉煌。

 

我们拥有同类型中优质性价比的产品!                 

      您正在为材料与设备无从下手而焦急吗?

欢迎来到沈阳科晶,我们是国内实验室样品制备设备领域的专家!

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

该系统为球形脉冲激光沉积系统(PLD)工艺研发设备。脉冲激光沉积 (Pulsed laser deposition, PLD),就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在基底上沉积,从而形成薄膜的一种方式。 在众多的薄膜制备方法中,脉冲激光沉积技术的应用较为广泛,可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜,甚至还用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等。1、环境温度:10℃~35℃
2、相对湿度:不大于75%
3、供水:水压0.2MPa~0.4MPa,水温15℃~25℃
4、设备周围环境整洁,空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

产品名称
球形脉冲激光沉积系统(PLD)
安装条件1、环境温度:10℃~35℃
2、相对湿度:不大于75%
3、供电电源:220V、单相、50±0.5 Hz
4、设备功率:小于4KW   
5、供水:水压0.2MPa~0.4MPa,水温15℃~25℃,
6、设备周围环境整洁,空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
主要参数
1、系统采用真空室为球形结构,手动前开门
2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造(304),氩弧焊接,表面采用喷玻璃丸+电化学抛光钝化处理
3、真空腔室有效尺寸为Φ300mm,配有可视观察窗口
4、极限真空度:≤6.67x10-5Pa (经烘烤除气后,采用600L/S分子泵抽气,前级采用8L/S);
系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系统从大气开始抽气到8.0x10-4 Pa,40分钟可达到; 停泵关机12小时后真空度:≤20Pa
5、样品台:样品尺寸φ40mm,转速1-20RPM,基片台与转靶距离40~90mm
6、样品加热最高加热温度:800℃,温控精度:±1°C,采用控温表进行控温
7、四工位转靶:每个靶位φ40mm,挡板只露出一个靶位,激光束要求打在最上面靶位,转靶具有公转、自转功能
8、真空室内设置烘烤、照明、水压报警装置
9、MFC一路质量流量计控制进气 :0-100sccm


相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

产地类别 国产
应用领域 电子
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :