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KLOCKE 纳米级三维测量仪

型号
KLOCKE
北京汇德信科技有限公司

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分子束外延系统,脉冲激光沉积系统,电子束光刻/聚焦离子束系统,紫外光刻机,去胶机,宽频介电阻抗谱仪,三维表面形貌仪,纳米压印模板,光刻胶等

  自1999年成立以来,北京汇德信科技有限公司始终秉承“诚信、专业、创新”的宗旨,将上*的纳米科学技术设备引进到国内。我们与德国亚琛工业大学、德国明斯特大学、德国斯图加特大学、德国卡尔斯鲁尔纳米中心及德国Max-Planck研究所等科研院所有着紧密的合作,并系统地代理了德国Raith(电子束光刻系统)、Novocontrol(宽频介电阻抗谱仪)、荷兰TSST(脉冲激光沉积系统)等多家*产品。产品覆盖了微纳米制造、检测、分析等相关领域。产品已经被国内众多科研院所和大学使用,并得到用户*好评和认可。

 

  作为几十家的国内*代理,汇德信已建立起以客户为中心,为客户解决科研需求的销售团队和专业的技术支持队伍。公司不定期地组织技术人员出国培训,提升技术水平,更好地为客户提供技术解决方案。

 

  我们经过多年的技术积累,并与国内用户、国外厂商紧密合作,共同研发具有独立知识产权的高科技含量的科研仪器。从“代理”产品走向 “研发”产品,迈出了具有重大意义的一步。2014年我们在常州建立了常州雷欧仪器有限公司,致力于开发研制符合国内用户需求的高品质、高性价比的薄膜沉积设备。

 

  我们本着将上*的科技和企业引进到国内的理念,在德国对华经济技术合作中心(IWC)、江苏省政府、德国北威州共同努力下,在江苏省常州市创建了江苏中德创新中心有限公司,中心凭借*理念和掌握大量的德国*和企业资源,重点抓住“中德合作”和“创新”这两个主轴,确保实现:知识转化为技术;实验室走向市场;技术变为产品;科技人才成为创业者。

详细信息

 

KLOCKE纳米级三维测量仪

KLOCKE纳米级三维测量仪介绍 

德国Klocke公司的Nanofinger是一种兼具原子量级分辨率和厘米级线性行程的纳米定位与测量系统,系统测量范围大,且具有*的空间三维精度。可在50mm x 50mm x20mm的空间范围内实现分辨率1nm的三維坐标测量,跨越8个数量级。
该设备的除涵盖一般轮廓、形貌测量设备的功能外,zui突出的特点是可以进行三维高精度坐标测量,这是其他设备无法做到的。与普通的三坐标测量相比,该设备的测量精度、分辨率要高出几个数量级。

整个3D Nanofinger系统由台架、控制系统、探头、针尖组成。
系统控制单元控制探针沿样品表面移动,以测量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根据需要设定参数,如探头移动的步长,选择、制定自己的测试模式,以使测量长度、速度、路径、分辨率达到*化。
系统的数据处理能力非常强,可得到多种参数,包括形貌、粗糙度、坐标尺寸等。同时,系统有自动控制能力,可以和超精密微加工、微组装系统组合,例如为微加工系统提供在线检测,以随时控制加工质量。

应用于MEMS微机械、半导体微电子、光学、分子生物学和精密工程,提供大范围、纳米精度的定位、操纵、处理和测量。还可用于微小零件、*、模具的精密測量。

 

KLOCKE主要特点

 

1.纳米精度测量,而且是三维方向都可保持统一的精度。
2.测量量程跨越纳米到厘米,甚至分米级。
3.多功能多参数测量设备,可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。
4.用户可以设定测量路径,这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。
5.配合多种不同功能的探针,可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。
6.用户可以根据需要灵活设置测量方法,可以进行大面积精确测量,也可以*行大面积低精测量,然后对特定感兴趣的区域进行高精测量,以节省时间。
7.整个过程非接触的,间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量,对材料性质没有特别要求和限制。
8.布局灵活,根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合,探头也以改变安装方向。
9.如果和微加工设备组合,可以实现在线测量。

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