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J51600/ZF 6英寸砂轮划片机
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J51600/ZF6英寸砂轮划片机主要技术参数
晶片加工尺寸:6〞 刀片尺寸:Ф50~Ф76.2mm
Y轴:
1.zui大行程:160mm
2.zui小步进设定:0.0002mm
3.单步步进精度:0.005.
4.累积步进精度:0.008mm/160mm
X轴:
1.zui大行程:260mm
2.进给速度:0.1~400mm/sec
Z轴:
1.zui大行程:30mm
2.zui小步进设定:0.001mm
θ轴:
1.旋转范围:0~380°
2.重复定位精度:±10"
主轴:
1.旋转范围:3,000~40,000r/min
2.功率:750W *
对准系统:双物镜显微镜、CCD对准*
监视器:彩色显示器*
设备外形:740X1000X1260
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