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J51系列 划片机

型号
J51系列
捷盛电子技术有限责任公司

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捷盛电子技术有限责任公司是由西北机器厂等多家法人投资,西北机器厂职工持股的高科技公司,位于西安*产业开发区,公司依托西安的科技和人才优势,依靠开发区*的环境和西部大开发的宏伟战略,致力于环境试验设备、微电子、半导体设备、电子*设备等高科技成果的研究、生产、销售。公司现已发展为拥有微电子公司和环试厂两个子公司,拥有员工120余人,并控股西安捷运科技有限责任公司。拥有西安和西北机器厂两个生产品基地 。 服务信念---用户的需求,就是我们的责任 安装调试---设备到达后通知我们,我们将派工程师现场 调试,免调试费;并对用户进行现场培训 产品验收---按照国家标准,委托国家计量单位计量验 质量保证---产品从用户验收合格之日起有一年质保期 保修承诺---保修期从验收合格之日起12个月;保修期内正常出现故障,我们及时给予修复;保修期满以优惠价格提供终身服务,保证服务质量。

详细信息

 

硅片zui大尺寸 Ø152.4mm(6") a进给0.1-70mm/s Y轴zui大行程 160mm Z轴zui大行程 19mm 主轴转速10000-40000r/min
X轴zui大行程 200mm  回程70mm/s Y轴zui小步进距离 0.002mm

Ø50mm刀

盘为准

通常30000/min 功率40W
X轴行程范围 20-160mm b进给1-300mm/s Y轴zui大步进速度 30mm/s Z轴zui小步距 0.002mm CCD对准系统
切割速度 (分两级)  回程300mm/s Y轴定位精度 0.008mm θ轴旋转范围 90±30" 尺寸(mm)906*1020*740

J51152/ZF划片机

               

晶片加工尺寸 155*155*5mm Y轴zui小步距 0.002mm Z轴zui大行程 8mm θ轴分辨率    0.005
刀片尺寸 Ø50-Ø60mm Y轴定位精度 ±0.003mm Z轴进给速度 7mm/sec θ轴旋转速度  900/2.2sec
Y轴zui大行程 155mm X轴zui大行程 250mm θ轴旋转范围 0-225主轴转速范围 3000-40000r/min
Y轴进给速度 50mm/sec X轴进给速度 0.1-200mm/sec θ轴显示增量 10 主轴功率     1.5KW

J51150-2/ZF

             

芯片zui大尺寸 Ø152.4mm(6") Y轴zui大行程 160mm 递增间距 0.005mm θ轴步进间距 0.00225zui小
X轴zui大行程 160mm(6.3") Y轴步进距离 0.002-99.998mm 微动间距 0.0025mm θ轴旋转速度   900/3.7sec
X轴行程范围 20-153mm Y轴zui大步进速度 30mm/s zui大升降 速度15mm/s 主轴直接驱动 空气轴承
X轴切割速度 0.3-300mm/s Z轴zui大行程 20mm θ轴旋转  范围 0-90

主轴速度

10000-40000r/min
X轴回程速度 300mm Z轴升降范围mm 0.005-19.995 θ轴zui小 角度± 10 功率1.25kw   通常30000r/min

J51150-1/ZF

               

手动金刚刀  

 

热板炉   温度均匀性
工作台纵横进刀行程: 110mm 接触式   ±1(Φ200mm以内区域)
工作台面的zui大直径: 101.6mm(4") 热板尺寸 Φ220mm 手动开关炉盖及放取硅片
工作台面的吸附直径: 25.4101.6mm 温度范围 60℃300℃ 电子定时 1分钟99小时99分钟
外形尺寸:   550mm×400mm 温度150℃以上勿合盖 功率 400W

J51100-1/ZF

               

薄片尺寸 zui大Ф75mm 划刀行程 60mm,80mm 划线精度 累积误差±0.02mm/75mm 环境条件
划线间距 09.99mm 划线速度   15,20,25,27条线/min 显微镜 放大20倍   室温35以下
适应划线间距 0.209.99mm 弹簧加压式  压力10150g(可调) 电源 AC 220V   湿度65%以下
台面回转角度 90° ±1"30" 装刀角度 50°90°(每10°刻度) 外形尺寸 500mm×480mm×470mm  

J5175-1/ZF

 

主轴刀架装刀数量≤13把 定位精度90° ±1" Y轴行程300mm  Y轴分辨率0.002mm Z轴行程100mm
刀架径向机械精度≤0.05mm 台面尺寸(mm)240*190 Y轴精度0.012mm Z轴分辨率0.001mm
          
刀架轴向机械精度≤0.05mm X轴行程200mm    X分辨率0.001mm Y轴可重复性0.009mm Z轴精度0.008mm
主轴调速范围0-3000r/min X轴精度0.003mm X重复性0.002mm Y轴速度2.5-2540mm/min  Z轴可重复性0.005mm

J50300-1/ZF

工作台旋转360 每94°定位 X轴速度2.5-762mm/min Y轴直线运动偏差(zui大)0.008mm   Z轴速度0-1270mm/min

相关产品链接:

  • J51200/ZF砂轮
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  • J51系列

 

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