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化学气相沉积炉(CVD系统)
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生产厂家上海皓越真空设备有限公司(简称皓越科技)是一家集研发、生产、销售电炉为一体的高新技术企业。公司地处中国经济发达上海,已拥有大型现代化标准厂房,成套的加工设备,完善的质量检测体系;汇萃了一批长期从事热处理炉、真空炉及特种炉制造和服务的技术精英,其中,研究生、本科以上学历的工程技术人员26人,技术工人65余人的精英团队,具备年产200套热处理炉、60套大型真空炉的生产能力。并与上海复旦大学、上海同济大学建立了长期友好的科技合作与人才培养基地。
公司一直专注于半导体材料、碳材料、复合材料和锂电材料四大领域,积累了丰富的行业经验和技术,竭诚服务于客户,提供完善的一体式产业解决方案。
在半导体材料领域,皓越科技致力为客户提供晶体生长设备和高温退火设备,适用于蓝宝石、碳化硅、氮化镓和氮化铝晶体的生长和退火。还推出氧化/扩散炉、LPCVD/PECVD等薄膜生长掺杂设备以及晶圆快速热处理RTP设备。
在碳材料领域,皓越科技拥有提供石墨烯、碳纳.米管的CVD及PECVD成套生长系统,并提供金刚石工具生产用真空炉和热压炉,以及碳材料用高温石墨化炉等。
在锂电材料领域,我们为客户提供连续正极材料生产窑炉,有辊道窑、推板窑等,以及用于负极材料生产用真空炉等。
在陶瓷基复合材料领域,拥有碳化硅陶瓷的无压烧结、反应烧结和重结晶烧结设备,氮化硅粉体合成炉以及陶瓷制品烧结炉,碳化硼陶瓷热压烧结炉等。
上海皓越真空设备有限公司所提供的产品技术先进,质量可靠,品种齐全。公司成立以来在市场上巳获得用户认可,其产品质量及服务获得用户的肯定,我们的优势不仅体现在高精度的温度控制领域,更多的是我们在工艺、真空,自动化控制及计算机温度分析系统有杰出的人才。
皓越人的愿景:成为新材料、新能源热处理领域。
皓越人的使命:推动新材料、新能源领域的快速发展;为新材料、新能源行业提供热处理解决方案。
皓越人的价值观:
客户为天:一切技术创新和服务理念均以客户的需求为导向,我们坚持以客户为主要,持续为客户创造价值,积极、快速的响应客户需求。为客户提供服务,是我们的工作方向和价值*,成就客户就是成就我们自己。
诚信为本:只有坚持诚信为本,才能言出必行,信守承诺。诚信是我们很重要的无形资产,皓越人坚持以诚信赢得客户。
创新为先:为了更好的满足客户需求,我们需要积极进取、勇于开拓与创新。任何先进的技术、产品、解决方案只有转化为商业成功才能产生价值。我们坚持以客户需求为导向,并围绕客户需求持续创新。
合作为赢:为了实现客户需求,除了持续创新,我们还要与供应商、合作商密切合作,只有合作才能实现双赢,合作是提升流程效率的有力保障。
发展为道:一切努力与奋斗,为了发展,我们成就了客户,自身也在发展。发展是硬道理,只有持续发展,我们与客户才能携手进步,员工与企业才能实现梦想。
皓越人的行为准则:
三大作风:认真,快,坚守承诺;
一个目标:客户满意100;
一个保证:保证完成任务。
皓越选人用人理念:
用对人,做对事!得人才者得天下!一切竞争,归根结底是人才竞争。选人用人,关乎皓越的成败;把合适的人放在合适的岗位上。
化学气相沉积炉(CVD系统)是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
高真空CVD系统主要由高温腔体、石英管、石英支架、气路系统、分子泵机组、自动化控制系统、冷却系统等组成。
产品特点:
1、沉底材料可采用铜箔、石墨等;
2、生长腔体采用进口高纯石英管,配石英支架、为石墨烯等材料的生长提供洁净环境;
3、炉膛采用进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。加热丝采用优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低;
4、密封法兰均采用不锈钢材质,配水冷套,可连续长时间工作;
5、气路系统采用两路质量流量计(可拓展多路),配预混系统;
6、气体种类: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;
7、温度、气体、真空、冷却水等通过PLC控制,通过PC实时控制和显示相关的实验参数,自动保存实验参数,也可采用手动控制;
8、系统采用集成化设计,控制系统、混气罐、质量流量计等均内置在箱体内部,占地面积小。整体安装四个可移动轮子,方便整体移动。
化学气相沉积炉(CVD系统)技术参数:
型号 | HTF1200-2.5/20-2F-LV | HTF1200-5/20-4F-HV | HTF1200-6/40-2M-LV | HTF1200-8/40-4M-HV |
设计温度(℃) | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
控温精度(℃) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
加热区直径(mm) | 25 | 50 | 60 | 80 |
加热区长度(mm) | 200 | 200 | 400 | 400 |
加热管长度(mm) | 450 | 450 | 1000 | 1000 |
恒温区长度(mm) | 80 | 80 | 150 | 150 |
额定电压(V) | 220 | 220 | 220 | 220 |
额定功率(KVA) | 1.2 | 1.2 | 3 | 3 |
真空机组 | HTF-101 | HTF-103 | HTF-101 | HTF-103 |
供气系统 | HTF-2F | HTF-4F | HTF-2M | HTF-4M |