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CVD化学气相沉积装置
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湘潭市三星仪器有限公司下辖湘潭米塔电炉有限公司、湘潭市三星陶瓷设备厂、湘潭市仪表采购供应站。主要生产产品有：
实验电炉：箱式电阻炉、管式电阻炉、坩埚电阻炉、真空成型全纤维快速升温电阻炉、熔块炉、管式气氛炉、旋转管式气氛炉、热压烧结炉、气压烧结炉、梯度电阻炉、真空电炉、反应烧结炉、聚四氟旋转烧结炉、平板加热器、电热干燥箱、温度控制器(柜)；
陶瓷设备：研磨机、振筛机、制样机、可塑仪、真空练泥机、真空搅拌机、真空干燥箱、化学成份快速分析仪、高温膨胀仪、高温物性仪、荷重软化温度测定仪、电动数显抗折仪、吸水率仪、综合度仪、釉面耐磨仪、磨擦系数测定仪、热稳仪、致密度仪、坯料抗折仪、切片机、磨片机、抛光机。
湘潭市三星仪器有限公司紧盯科技发展前沿，致力于实验设备的研究和开发，依靠技术和实干，不断向社会提供精益求精的产品，以赢得用户青睐。产品多次获湖南省优秀新产品奖、科学技术进步奖。公司先后与湘潭大学、湖南大学、中科院、北京科技大学、中南大学等成功合作，引进技术和人才，不断提升企业技术开发创新能力。目前公司自有现代化的厂房和专业生产设备，年生产能力500台套以上，同时是湘潭市科技计划项目的承担单位。
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详细信息
CVD化学气相沉积装置由升华室、反应室、气路系统、和真空系统组成，采用智能化程序控温系统，可控硅控制，控温精度高；内置多个温区，可以营造不同的温度梯度。用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。
1、升华室主要包括有不锈钢容器，不锈钢高温阀、压力表、电热合金丝发热体、质子流量计、热电偶、温控装置和保温系统。主要用于对前驱体的加热升华和调控通入反应室的气体流量, 控温温度可以在100-700℃之间自由设定，由K分度号热电偶+精密数显程序控温仪实现升华室温度的自动程序升降，控温精度：±1℃，升华室配置数量为2个。
2、反应室主要包括不锈钢容器、压力表、质子流量计、电热合金丝发热体、热电偶、温控系统、真空系统、保温系统、载物台。控温温度可以在100-900℃之间自由设定，由K分度号热电偶+精密数显程序控温仪实现反应室温度的自动程序升降，控温精度：±1℃，反应室配置数量为1个。
3、气路系统采用∮6×1mm，316L材质不锈钢管实现气体的运输、气体流量的精确控制、减压阀的准确快速切换以及废气的处理。在气体运输过程中，需要对管道进行加热保温处理，防止混合气体在运输过程中发生冷凝，加热系统由K分度号热电偶+智能数显控温仪+电热合金丝发热体实现气路管道的温度控制，控温精度：±1℃。
4、真空系统主要用于控制反应室内压强，保证化学气相沉积反应能在预定的压强下进行实验，真空度：10Pa。
CVD化学气相沉积
化学气相沉积反应装置
CVD管式炉
