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CVD 化学气相沉积设备
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详细信息
化学气相沉积设备技术参数
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双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50-5Z | 炉体结构 | 该化学气相沉积设备采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度都小于55℃ 炉底安装一对滑轨，可手动滑动，以便满足特殊工艺的快速升降温的求。 |
| 炉管尺寸 | Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。) | |
| 功率 | 5kW | |
| 输入电压 | 220VAC 单相 50/60Hz | |
| 加热元件 | Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） | |
| zui高温度 | zui高温度：1200℃ 额定温度：1100℃ | |
| 升温速率 | ≦10℃/min（推荐） | |
| 加热区长度度 | 化学气相沉积设备两个加热区的长度都是200mm 分别由独立的温控系统控制 | |
| 恒温区长 | 100+100mm（±1℃） 可获得较长恒温区间 | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 快速连接法兰 | Φ50快结式不锈钢真空法兰 打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方便 | |
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五路质子流量控制系统 MFC-5Z
| 电压 | 220VAC 单相 50/60Hz |
| 针阀材质 | 316不锈钢 | |
| 量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择） | |
| 工作温度 | 5～45℃ | |
| 外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
| 电压 | AC220V/50Hz单相 | |
| 功率 | 23W | |
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真空系统 LVU-10 | 壳体尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
| zui大承载量 | 1000 Lbs | |
| 抽气速率 | 10m³/h 极限真空度：10-1Pa 双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接 | |
| 质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈加热元件等易耗件 | |
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使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
