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AU-CNI 桌面型纳米压印机

型号
AU-CNI
参数
产地类别:进口
上海昊量光电设备有限公司

高级会员8年 

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上海昊量光电设备有限公司  
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专业源自专注  专注成就未来

自2008年成立以来,昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销,致力于引进guo外*先进性与创新性的光电技术与可靠产品,为国内Z前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务,助力中国智造与中国创造! 目前,昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。

昊量光电坚持“专业源自专注,专注成就未来”的经营理念。近年来,我们专注于前沿的细分市场,为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。

作为一家以技术沟通与技术服务见长的高科技企业,我们所有的销售与技术服务团队成员都具有理工科方面的专业背景,并在公司接受相关领域的专业培训,在售前技术沟通、售后产品安装培训、产品问题解决、软硬件增值服务等方面为客户提供更加专业化的服务!我们专业高效的商务与物流部门凭借多年积累的贸易经验与规范化的制度流程,保障每一笔订货准时安全到达目的地,免除客户的后顾之忧!

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立足于光电产业,昊量光电始终坚持价值创造与创新,赢得客户与合作伙伴的认可,不断拓展业务领域的新边疆,立志打造的代理服务品牌!

 

详细信息

桌面型纳米压印机

  • 产品图片

超紧凑纳米压印机!

所属类别:实验设备 » 无掩模光刻系统

技术服务人员:李工(William)

超紧凑纳米压印机

 

光刻技术实际上是一种精密表面加工技术,它借助于一定波长的激光光源以及选择性的化学腐蚀和刻蚀技术把设计的微纳图案转移到硅基板上。但是随着集成电路功能和密度的提升传统的光刻技术已经难以满足当前对线宽越来越小的需求。但是打破衍射极限的大型光刻设备又极其昂贵。为了摆脱光学衍射极限和克服高成本的限制,一种操作简单,成本低廉的纳米压印技术产生了。纳米压印的技术核心是充分利用机械能将刚性模板上的图案转到抗蚀剂上,之后再借助溶脱、剥离、刻蚀等将图案转移到基板上。到目前为止压印技术已经发展出来多种类型,典型的包括热塑压印技术、紫外固化压印、微接触纳米压印、激光辅助纳米压印和滚轴式纳米压印技术等。

 

上海昊量光电设备有限公司推出的纳米压印机AU-CUI为热压印和紫外固化压印设备。

 

AU-CNI纳米压印机是一款桌面大小的纳米压印和热压成型的机器。它可以用于微米或纳米结构的压印成型。AU-CNI不但可以进行热压印还可以进行UV压印。

对于热压印首先设备通过施加压力使模板与基板紧密接触,加压范围最大可达到11bar,通常依据温度控制压印过程。温度最高可达到200℃,由于采用原位实时测量温度,因此控温精度可达到1℃。

 

UV曝光采用4个365nm的LED光源,组合光的功率可达到11.6W,LED的温度被实时检测,拥有过热保护功能,即使出现过热的现象也可以确保曝光剂量正确。

 

 

此外设备拥有简洁的操作软件。通过软件可以控制压印的温度、压力、曝光时间等参数。并且可以编辑并存储在该软件中。

AU-CUI其操作简单,功能强大,易于实现新的实验和非标准的加工。是纳米压印的*工具。

 

  1. 压印图案

 


 

 

桌面型纳米压印机产品特点

l   操作简单

l   即插即用

l   结构紧凑

l   多种用途

主要应用

微米/纳米结构的压印

高纵横比结构的压印

聚合物的热压印

压印模板制作

产品参数

 

Pressure

Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure

Temperature

Up to 200ºC with control of +/- 1ºC

UV exposure

UV led light with 365 nm wavelength and optical power of 11600 mW

Vacuum

The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar

Size of imprint chamber

Diameter of 100 mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45   mm)

Automated replication process

1Stamp and   substrate are loaded manually

2Replication   process is fully automated and controlled through CNI software

Software

Full process control and flexibility. Everything besides loading   and unloading is handled by the software

CNI customization

CNI can be modified to meet individual requirements

On-line video instructions

On-line video installation and operation guides

Optional

1Pressure   booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar

2Training   and/or installation by NILT personnel

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