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压印机. UV纳米压印机
- 型号
- 压印机.
上海昊量光电设备有限公司
Aunion Tech Co., Ltd
专业源自专注 专注成就未来
自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进guo外*先进性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内Z前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造! 目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。
昊量光电坚持“专业源自专注，专注成就未来”的经营理念。近年来，我们专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。
作为一家以技术沟通与技术服务见长的高科技企业，我们所有的销售与技术服务团队成员都具有理工科方面的专业背景，并在公司接受相关领域的专业培训，在售前技术沟通、售后产品安装培训、产品问题解决、软硬件增值服务等方面为客户提供更加专业化的服务！我们专业高效的商务与物流部门凭借多年积累的贸易经验与规范化的制度流程，保障每一笔订货准时安全到达目的地，免除客户的后顾之忧！
秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！
立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造的代理服务品牌！
详细信息
UV纳米压印机
纳米压印技术是上世纪90年代Stephen Y Chou,针对传统光刻受波长限制提出的类似于模板刻印的一种技术。它的原理是：将具有纳米结构的模板通过一定压力，压入加热的熔融的高分子薄膜内，待高分子材料冷却，纳米结构定型，移去模板，然后再通过等离子体刻蚀等传统的微电子加工手段把结构转移到基底上。 过程如下图所示：
由于热压印需要采用较高压力，容易损坏模板，不利于模板多次使用，并且由于材料和衬底热系数并不相同，容易造成纳米结构缺陷，于是G.G.Willson 提出了紫外固化压印。该设备主要原理是：使用低粘度，流动性好的聚合物滴到基板上，利用液体*的毛细现象，使光刻胶充满模板，然后通过紫外光照射使其固化，然后脱模，刻蚀。过程如下图所示
到目前为止压印技术已经发展出来多种类型，典型的包括热塑压印技术、紫外固化压印、微接触纳米压印、激光辅助纳米压印和滚轴式纳米压印技术等。
为了满足市场日益增长对纳米压印的需求，上海昊量推出了UV纳米压印机。
该设备是基于紫外固化的纳米压印机，可提供2英寸；4英寸和6英寸不等的压印尺寸。分辨率可做到由于10nm，并且拥有99%产率。
该设备的*之处是已获得的自动脱模技术。该设备可以通过软件调节纳米压印腔体内外的压力，是模板从衬底上自动脱模。并且可避免分离过程中造成基底和模板的损坏。
该产品拥有以下优势：
l 分辨率优于10μm，产率优于99%
l 同时适用于软模和刚性模板
l 自动脱模，防止模板和基板损坏
l 可压印不同尺寸的模板和基片，方便灵活
l 可编程的PLC触屏界面
l 对准选项
应用实例：
产品参数：
AUV-200 | AUV-400 | AUV-600 | |
Substrate size | 2 inch standard | 4 inch standard | 6 inch standard |
Imprint area | Same as wafer size | ||
Imprint pressure | 1 psi standard | ||
UV exposure time | 2-3 min at 95% intensity level | ||
