ETSys-InLine 在线椭偏测量系统是根据镀膜机在线高精度测量要求，专门研发的椭偏测量系统，在此系统中，椭偏测量部件与镀膜机集成为一体。

ETSys-InLine 在线椭偏测量系统可用于真空热蒸发镀膜机、离子溅射镀膜机、原子层沉积镀膜机等多种原理的镀膜机。可在线测量光滑平面基底上的纳米薄膜，包括单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k；并可测量块状材料的折射率n和消光系数k。 

ETSys-InLine 融合量拓科技在高精度激光椭偏仪的*设计技术和椭偏产品制造方面的经验，性能稳定、可靠。

特点:

• 快速在线镀膜样品测量

  可对样品进行快速在线监测，实时反馈镀膜的真实信息。

• 系统可选的灵活配置

  根据用户实际检测需求，可灵活选用激光椭偏仪、光谱椭偏仪部件等进行系统配置。

• 原子层量级的膜厚分析精度

  采用非接触、无破坏性的椭偏测量技术，对纳米薄膜达到*的测量准确度和灵敏度，膜厚测量灵敏度可达到0.05nm。