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RBDLA系列 双轴精密线轨运动台
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生产厂家王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年,英文名称:BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD,公司简称:瑞邦精控(AUS-PRECISION)。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业,专注精密运动台,团队拥有10年以上核心研发经验,拥有多种应用领域经验,成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域:半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向,倾听客户之心声,提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值,坚持高精密为主线,坚决不走捷径,踏踏实实,积厚薄发,长期艰苦奋斗,坚持自我批评与创新,为提高行业精度水平,默默耕耘
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
高精度设计
双轴精密线轨运动台直线度和平面度在应用中至关重要,RBDLA系列双轴精密线规运动台提供了高精度直线台的*性能。采用高精度滚柱轴承和精密研磨的加工表面,直线度和平面度达到±3um以内。应用双直线电机驱动和导轨,满足很高的推力和速度,加速度达4g。
双轴精密线轨运动台紧凑的中孔外形结构,留出大的工作空间,并将总高度保持在小,大尺寸中孔精密运动台,光栅反馈接近于工作表面,重复定位精度可达±0.5um,小步距20nm,通过这种优化设计,从而获得的性能和较低成本。
双驱动结构
非接触式设计提供了高速和准确的定位,比滚珠丝杆结构的位移台在性能有了*的提升,电机免维护和长寿命使用。 *的控制驱动算法,保证了双电机的运行的一致性。
集成式线缆管理
精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中影响到运动台的性能。使用高质量的无尘拖链线缆,尽量增长使用寿命,减少停机时间,同时设备外观更整洁,创造个良好的作业环境,是洁净室内使用的理想选择。
规格指标
型号 | 单位 | RBDLA-300XY | RBDLA-400XY | RBDLA-500XY | ||||
运动轴 | 轴系 | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 300 | 300 | 400 | 400 | 500 | 500 | |
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.75 | ±1 | ±0.75 | ±2 | ±0.75 | ±1 |
标准值 | ±1 | ±2 | ±2.5 | ±3 | ||||
双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.5 | |||||
标准值 | ±0.75 | |||||||
直线度 | Plus值 | μm | ±3.5 | ±5 | ||||
标准值 | ±5 | ±6 | ||||||
平面度 | Plus值 | μm | ±3.5 | ±5 | ||||
标准值 | ±5 | ±6 | ||||||
Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±7 | ±9 | ||||
标准值 | ±8 | ±10 | ||||||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | ||||||
速度 | m/s | 1 | ||||||
加速度 | m/s² | 5,(10, 20, 30, 40 定制) | ||||||
负载 | Kg | 50 |
实测指标
X轴有效行程300mm时定位精度和重复定位精度实测数据(单位:mm)
Y轴有效行程300mm时定位精度和重复定位精度实测数据(单位:mm)
X轴有效行程300mm时直线度实测数据(单位:mm)
Y轴有效行程300mm时直线度实测数据(单位:mm)
外形尺寸
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