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真空运动台
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年，英文名称：BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD，公司简称：瑞邦精控（AUS-PRECISION）。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业，专注精密运动台，团队拥有10年以上核心研发经验，拥有多种应用领域经验，成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域：半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向，倾听客户之心声，提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值，坚持高精密为主线，坚决不走捷径，踏踏实实，积厚薄发，长期艰苦奋斗，坚持自我批评与创新，为提高行业精度水平，默默耕耘
详细信息
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
真空运动台 产品简介
Y轴行程200mm，高真空直线电机驱动，在低速运行时保持平稳，在高速状态不产生振动。
真空交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。十字叠层结构，使整体结构更紧凑。真空润滑脂涂抹在真空导轨上，不易挥发。
尽可能的消除盲孔，在盲孔和螺栓处有通孔，保证安装孔开放式结构。结构件选用航空铝合金件，清洗加工表面，高低温热处理消除加工应力，确保使用的长期稳定性。
使用聚四氟乙烯材质的垫圈；螺钉中心带通孔，结构件消除盲孔，方便通风排气；轴侧面无防尘设计，方便通风排气；线缆外表为特氟龙材质，适用真空环境；提供真空腔外的配套连接法兰及线缆。
真空运动台规格指标
轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
X 轴 | 行程 | mm | 380 | 380 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.1 | |
直线度 | μm | ±3 | ±1.45 | |
Yaw | arc sec | ±15 | ±7.45 | |
Pitch | arc sec | ±15 | ±2.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 200 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微动步距 | nm | 10 | 10 | |
Y 轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.2 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | |
直线度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
Yaw | arc sec | ±7 | ±5 | |
Pitch | arc sec | ±7 | ±3 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微动步距 | nm | 10 | 10 | |
XY | 负载 | kg | 15 | 15 |
