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RBHXG系列 龙门精密运动台
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北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年,英文名称:BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD,公司简称:瑞邦精控(AUS-PRECISION)。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业,专注精密运动台,团队拥有10年以上核心研发经验,拥有多种应用领域经验,成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域:半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向,倾听客户之心声,提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值,坚持高精密为主线,坚决不走捷径,踏踏实实,积厚薄发,长期艰苦奋斗,坚持自我批评与创新,为提高行业精度水平,默默耕耘
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰结构特点
RBHXG系列龙门精密运动台采用无铁芯直线电机,配置非接触式光栅尺,具备非常优秀的动态性能和定位精度,龙门轴采用双直驱结构,有较强的驱动能力,横梁轴为单直线电机结构,实现高速扫描,<span style="font-family:"">Z轴直驱结构,交叉滚柱导轨导向,采用无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
龙门轴为双光栅闭环反馈,双向重复定位精度±0.5μm,高速运行空载速度1m/s,加速度可定制30m/s²,定位纹波小于50nm,Z轴双向重复定位精度±75nm。
精密控制
配合业界的控制器,可提供优异的伺服性能、控制算法,从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能,RBHXG系列龙门精密运动台中的交叉解耦控制算法,保证双驱轴运动一致性。
定制化
基座可选大理石或铝合金材质,用户确认Z轴到工件的高度和间距;Z轴可安装转台,隔振器等整套运动控制系统。
规格指标
单位 | RBHXG-300-300-100 | RBHXG-500-500-150 | RBHXG-1000-1000-200 | ||||||||
轴系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 | mm | 300 | 300 | 100 | 500 | 500 | 150 | 1000 | 1000 | 200 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±1 | ±0.1 | ±1 | ±0.15 | ±4 | ±0.15 | |||
标准值 | ±3 | ±0.3 | ±4 | ±0.3 | ±5 | ±0.3 | |||||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.05 | ±0.75 | ±0.075 | ±0.5 | ±0.075 | |||
标准值 | ±1 | ±0.1 | ±1 | ±0.1 | ±1 | ±0.15 | |||||
电子分辨率 (2) | nm | 0.3 或 5(选配) | |||||||||
速度 (空载) (3) | m/s | 1 | |||||||||
加速度 (空载) (3) | m/s² | 5,(10, 20, 30 定制) | |||||||||
负载 | kg | 15 | |||||||||
正交性 | Plus | arc sec | ≤5 | ||||||||
标准值 | ≤10 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下指标,速度和加速度取决于负载大小。
订购信息
型号 | RBHXG | -300-300-100 | -N | -N | -1 | -0 | -C3 | -3 | -N |
描述 | 动龙门系统 | X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程100mm | 标准值 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 坦克拖链 | 线缆长度3米 | 无大理石支撑钢架 |
名称 | 型号 | 描述 |
龙门系统 | RBHXG | 动龙门系统 |
行程 | RBHXG系列300-300-100 -500-500-150 -1000-1000-200 | X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程100mm X轴行程500mm;Y轴行程500mm;Z轴行程150mm X轴行程1000mm;Y轴行程1000mm;Z轴行程200mm |
精度等级 | -N -PLUS | 标准值 PLUS高精度版 |
电子分辨率 | -N -0.3 -5 | 默认 电子分辨率0.3nm 电子分辨率5nm |
反馈方式 | -1 -T -ABS | 增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 式光栅反馈 |
零点位置 | -L -0 -R | 零点在行程左极限位置 零点在行程中心位置(标配) 零点在行程右极限位置 |
线缆管理 | -C2 -C3 | 无尘拖链 坦克拖链 |
线缆长度 | -3 -5 -DZ | 长度3米(标配) 长度5米 定制 |
支撑钢架 | -Y -N | 有支撑钢架 无支撑钢架(标配) |