起订量：
RBN150系列 纳米级运动台
- 型号
- RBN150系列
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年，英文名称：BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD，公司简称：瑞邦精控（AUS-PRECISION）。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业，专注精密运动台，团队拥有10年以上核心研发经验，拥有多种应用领域经验，成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域：半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向，倾听客户之心声，提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值，坚持高精密为主线，坚决不走捷径，踏踏实实，积厚薄发，长期艰苦奋斗，坚持自我批评与创新，为提高行业精度水平，默默耕耘
详细信息
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
纳米级运动台
产品型号：RBN150系列
产品应用：纳米级运动台应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。
产品特点：
<< 非接触式直驱结构驱动
<< 抗蠕动交叉滚柱导轨导向
<< 百纳米级定位精度
<< 纳米级微动步距
<< 高动态性能
<< 结构可接受定制
产品用材设计
精密运动台采用非接触式直线直驱电机驱动，非常适合要求高精度的需求，其不会与磁铁发生不良反应，在低速运行时也能保持平稳，在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。
抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，工作时比较平稳；交叉排列,多方向受力时比较稳定；该结构可以把平台高度降低，结构紧凑，减小阿贝误差的影响。
非接触式光栅闭环反馈，优化考虑热膨胀的设计，这种紧凑是结构设计，在有限的空间内具有鲁棒性和准确度，获得重复定位精度±75nm，微动步进5nm.
Z轴采用低摩擦气缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。
精密控制
配合业界上主导的控制器和驱动器相结合，可提供优异的伺服性能、*的控制算法，从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。
定制化设计
可定制用于真空环境下的版本。
根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。
产品参数表
型号 | 单位 | RBN150-60-60-35 | RBN150-60-60-60 | RBN150-110-110-35 | RBN150-110-110-60 | ||
行程 | mm | 60x60x35 | 60x60x60 | 110x110x35 | 110x110x60 | ||
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.3 | |||
标准值 | ±0.5 | ±0.6 | |||||
双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||
标准值 | ±0.15 | ||||||
直线度 | Plus值 | μm | ±0.75 | ±1 | |||
标准值 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
平面度 | Plus值 | μm | ±1.5 | ±2 | |||
标准值 | ±2 | ±2.5 | |||||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
速度 | mm/s | 200 | |||||
加速度 | m/s² | 5，（10定制） | |||||
负载 | Kg | 5 | |||||
正交性 | Plus值 | arc sec | ±2.5 | ||||
标准值 | ±5 | ||||||
