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Helios 5 DualBeam FIB双束电镜

型号
Helios 5 DualBeam
北京欧波同光学技术有限公司

高级会员5年 

代理商

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电镜,SEM,扫描电镜,FIB双束电镜,环境扫描电镜,TEM透射电镜,扫描电镜附件,离子溅射仪

北京欧波同光学技术有限公司成立于2003年,是一家材料分析数字化解决方案服务商。旗下拥有科学仪器、智慧实验室、第三方检测、技术服务等业务板块。欧波同坚持“让实验更简单”的发展主线,充分掌握计算机视觉和图像识别技术,实现AI技术和工业分析技术的跨界融合,帮助中国企业在竞争中取得成功。为世界材料分析贡献中国力量!


北京欧波同光学技术有限公司(OPTON)-主营进口扫描电子显微镜、双束聚焦离子束显微镜、赛默飞扫描电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束电镜、赛默飞双束电镜、FEI扫描电镜、FIB扫描电镜、FIB双束电镜、TEM透射电镜、球差电镜、氩离子抛光测试及制样设备中国区授权代理商








详细信息

新一代的赛默飞世尔科技 Helios 5 DualBeam FIB双束电镜具有 Helios 5 产品系列高性能成像和分析性能。它经过精心设计,可满足材料科学研究人员和工程师对广泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是具有挑战性的样品。


Helios 5 DualBeam FIB双束电镜重新定义了高分辨率成像的标准:较高的材料对比度,快、简单、准确的高质量样品制备,用于 S/TEM 成像和原子探针断层扫描(APT)以及高质量的亚表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上,新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化,所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的运行状态。


更易于使用:

Helios 5 是所有体验级别用户容易使用的 DualBeam。操作员培训可以从几个月缩短到几天,系统设计可帮助所有操作员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。


提高了生产率:

Helios 5 和 AutoTEM 5 软件的先进自动化功能,增强的稳健性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作,显着提高样品制备通量。


改善时间和结果:
Helios 5 DualBeam 现在包括 FLASH,这是一种调整图像的新概念。对于传统的显微镜,每次操作员需要获取图像时,必须通过迭代对中仔细调整显微镜。使用 Helios 5 DualBeam,屏幕上的简单手势将激活 FLASH,将自动调整这些参数。自动调整可以显着提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。


半导体行业技术参数:



Helios 5 CX

Helios 5 HP

Helios 5 UX

Helios 5 HX

Helios 5 FX


样品制备与XHR扫描电镜成像

终样品制备(TEM薄片,APT)

STEM亚纳米成像与样品制备

SEM

着陆电压

20ev-30kev

20ev-30kev

分辨率

0.6nm@15kev

1.0nm@1kev

0.6nm@2kev

0.7nm@1kev

1.0nm@500ev

STEM

分辨率@30kev

0.7nm

0.6nm

0.3nm

FIB制备过程

大材料去除束流

65nA

100nA

65nA

终优抛光电压

2kv

500v

TEM样品制备

样品厚度

50nm

15nm

7nm

自动化

样品处理

行程

110×110×65mm

110×110×65mm

150×150×10mm

100×100×20mm

100×100×20mm+5轴(S)TEMCompustage

负载锁

手动

自动

手动

自动

自动+自动插入/提取STEM杆


材料科学行业技术参数:

 

 

Helios 5 CX

Helios 5 UX

离子光学

 

具有*的高电流性能的Tomahawk HT 离子镜筒

具有*的大电流和低电压性能的Phoenix离子镜筒

离子束电流范围

1 pA – 100 nA

1 pA – 65 nA

加速电圧

500 V – 30 kV

500 V – 30 kV

大水平视场宽度

在光束重合点时为0.9 mm

在光束重合点时为0.7 mm

离子源寿命

1,000 hours

1,000 hours

 

两级差动泵

两级差动泵

飞行时间矫正

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15孔光阑

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电子光学

Elstar超高分辨率场发射镜筒

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磁浸没物镜

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高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流

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电子束分辨率

工作距离下

0.6 nm at 30 kV STEM

0.6 nm at 30 kV STEM

0.6 nm at 15 kV

0.7 nm at 1 kV

1.0 nm at 1 kV

1.0 nm at 500 V (ICD)

0.9 nm at 1 kV 减速模式*

 

在束流重合点

0.6 nm at 15 kV

0.6 nm at 15 kV

1.5 nm at 1 kV 减速模式* and DBS*

1.2 nm at 1 kV

电子束参数

电子束流范围

0.8 pA to 176 nA

0.8 pA to 100 nA

加速电压范围

200 V – 30 kV

350 V – 30 kV

着陆电压

20 eV – 30 keV

20 eV – 30 keV

大水平视场宽度

2.3 mm at 4 mm WD

2.3 mm at 4 mm WD

探测器

Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE)

Elstar i镜筒内SE/BSE 探测器 (ICD)*

Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)*

样品室内Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)

红外相机

高性能离子转换和电子探测器(SE)*

样品室内样品导航彩色光学相机Nav-Cam Camera*

可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器(DBS)*

可伸缩STEM 3+ 探测器*

电子束流测量

样品台和样品

样品台

灵活五轴电动

压电驱动XYR轴的高精度五轴电动工作台

XY

110 mm

150 mm

Z

65 mm

10 mm

R

360° (连续)

360° (连续)

倾斜

-15° to +90°

-10° to +60°

大样品高度

与优中心点间隔85mm

与优中心点间隔55mm

大样品质量

样品台任意位置500 g

样品台任意位置500 g

0° 倾斜时大5kg

大样品尺寸

直径110 mm可沿样品台旋转时

直径150 mm可沿样品台旋转时

 

优中心旋转和倾斜

优中心旋转和倾斜




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