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AST椭偏仪薄膜分析MSP500-RTMF
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代理商北京燕京电子有限公司成立于1988年,注册资金2124万元。公司位于北京城东北部酒仙桥的中关村电子城科技园区内,建筑面积2000多平方米,地理位置*,交通便利。自成立以来,燕京电子一贯秉承"以科技为先导,以服务为根本"的宗旨,为科研院所和生产企业提供*的仪器设备及解决方案,以其良好的企业形象和品牌价值,发展成了业内*的仪器设备服务商之一。 燕京电子一直以"科技*"的姿态,将*的仪器、技术和解决方案引入国内,并依托于公司强大的技术力量,为客户创造价值,帮助客户成功。目前,公司已经形成多个产品系列,如电子测量仪器、表面物性分析仪器、生命科 学及化学分析仪器、等离子表面处理设备等;产品应用领域包括物理学、光学、材料科学、纳米技术、环境及食品安全等领域;客户覆盖了全国各科研机构、大学实验室和企业研发机构,与他们建立了长期的合作关系。 燕京电子坚持以客户为导向,强化服务意识,提高服务质量。公司设有市场部和销售部,拥有专业的技术支持团队和商务操作团队,为客户提供专业化的售前、售中、售后服务,较大化地节约客户的资金成本和时间成本,与客户共同发展。公司设有独立测试演示中心,引进了等离子表面处理设备、锁相放大器,信号发生器等样机,为客户提供样机操作演示,样品测试和产品代工服务,较大化满足客户的*需求。
AST椭偏仪薄膜分析MSP500-RTMF
AST椭偏仪薄膜分析MSP500-RTMF分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。
产品详情
基本功能 | 1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 |
产品特点 | l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库; |
系统配置 | 型号:MSP500RTMF |
规格参数
波长范围:250nm到1700 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸:多可至20mm
测量厚度范围: 20Å 到25 μm
测量时间:2毫秒
精度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*:小于2 Ǻ
可选配件项
l 波长可扩展到远DUV或者长NIR范围(~2500nm)
2 可根据客户的特殊需求来定制
3 在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷
4 可选择的平台尺寸多可测量300mm大小尺寸的样品
5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
6 各种滤光片可供各种特殊的需求
7 可添加应用于荧光测量的附件
8 可添加用于拉曼应用的附件
9 可添加用于偏光应用的附件
应用系统
主要应用于透光薄膜分析类领域:
l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)
4 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
5 半导体化合物
6 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
7 非晶体,纳米材料和结晶硅