Bruker  探针式表面轮廓仪（台阶仪）DektakXT

(一)、概述

布鲁克DektakXT （探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性<5Å。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据业界ling xian地位长达四十年的优异表面测量技术。实现了纳米尺度的表面轮廓测量，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。

台阶高度重复性优于5埃（<5 Å）

· 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

· 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新*

操作简便，高效易用

· 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程

· *的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量

· 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针

探针式轮廓仪的ling 导 zhe

· 性能zhuo yue，物超所值

· 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障

(二)、历史：技术创新四十余年

过去四十年间，世界范围内有上万台Dektak系列产品应用于各个领域，广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。它们以优质、可靠、高效等特性广受赞誉。

(三)、性能：设计完美、性能*

台阶仪性能优劣取决于以下三个方面：测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和  优化的测量以及数据处理软件来实现可靠、快速和简单的样品检测，达到  佳的仪器使用效果。

简便易行的操作系统

• 新颖的探针和部件自动对准装置，避免了探针损伤。提高操作的简便性。
• 提供各种标准探针和特制探针。

完善的数据采集和分析系统

• Vision64 软件提供了实用简洁的用户界面，可视化使用流程，及各种参数自助设定等。
• 各种数据分析功能的操作简便、快捷，使用者可以快速高效地进行分析。

  具备先进的3D形貌图像扫描和分析模式

 (四)、应用

布鲁克探针式表面轮廓仪历经四十载，从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量，到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试，Dektak台阶仪适用面极广，为用户提供准确性高，重复性佳的测量结果。在教育、科研领域和半导体制程控制领域，Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。

薄膜监控

l 通过及时监测薄膜厚度和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力，实现有效工艺控制，可以提高生产良率，为客户节省时间和费用。

l DektakXT易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可以跟踪晶片的薄膜厚度，测量精度可达纳米级别。

l DektakXT zhuo yue的测试性能，为工程师提供了准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以用来jing zhun调节刻蚀和镀膜工艺，提高产品的良率。

  混合电路的DektakXT 3D图像     可以可靠测量厚度小于10nm的薄膜

表面粗糙度测量

• DektakXT可以快速测量材料的表面粗糙度，可以获得材料的质量信息：比如晶体生产是否满足要求，或手术植入体是否可以通过医学审核允许使用。使用软件中的数据库功能，设定 合格/淘汰条件，质量人员可以轻松确定

微机电系统（MEMS）

• 市场上wei yi可以测量敏感材料1mm高垂直台阶的台阶仪，且测试重复性在埃米级别；
• 为微机电系统（MEMS）研究提供了可靠的关键尺寸测量手段，确保器件满足要求；
• 具有超微力（NLite+）测量功能，可以保证在测量敏感材料时，轻触材料表面而不破坏样品表面，得到台阶高度以及表面粗糙度数据。