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SEM5000Pro 国仪量子场发射扫描电子显微镜
- 型号
- SEM5000Pro
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国仪量子的核心技术是以量子精密测量为代表的先进测量技术，为全球范围内企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的核心关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等优质的产品和服务。
公司源于中国科学技术大学，实验室在高duan科学仪器、关键核心器件的研制领域深耕十余年，多项技术、研究成果突破国际封suo和禁运，并获得 ”中国科学十da进展“” 国家自然科学二等奖“”中国分析测试协会科学技术奖特等奖“等诸多奖项。
公司传承实验室的创新基因与探索精神，为世界的科技工作者提供探知微观世界的一把尺子，获得”2021年安徽省科学技术奖一等奖“”朱良漪分析仪器创新奖“”安徽省新型研发机构“”安徽省量子精密测量创新中心“”安徽省专精特新冠jun企业“等奖项。
公司面向量子科技、材料科学、化学化工、生物医学、工业领域、科学教育、能源勘探等领域，致力于帮助客户更高效地推动技术的发展，探索并创造人类的未来。
详细信息
国仪量子场发射扫描电子显微镜SEM5000Pro
产品介绍
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
加速电压 20 V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV
样品台 五轴全自动样品台
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
产品特点
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
高压隧道技术 (SuperTunnel), 在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
规格参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.8 nm @15 kV,SE 1.2 nm @1.0 kV,SE |
| 加速电压 | 20V~30 kV | |
| 放大倍率 | 1~2,500,000x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 双摄像头 (光学导航+样品仓内监控) | |
| 样品台行程 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° | |
| 探测器 和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 旁侧二次电子探测器(ETD) |
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) 插入式扫描透射探测器(STEM) 能谱仪(EDS) 背散射衍射(EBSD) 样品交换仓 轨迹球&旋钮控制板 | |
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
