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新品HEM6000 国仪量子高速扫描电子显微镜

型号
HEM6000
参数
背散射电子图像分辨率:1.3nm @ 3 kV,SE 产地类别:国产 二次电子图象分辨率:1.9nm @ 3 kV,BSEnm 放大倍数:66~1,000,000xx 加速电压:100 V~6 kV(减速模式)kV 价格区间:700万-1500万 仪器种类:热场发射 应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,地矿,电子

创新点

上市时间:2023-08-08
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业,综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率
国仪量子技术(合肥)股份有限公司

超级会员5年 

生产厂家

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EPR电子顺磁共振波谱仪、SEM扫描电子显微镜、比表面及孔径分析仪、高温高压吸附仪、金刚石量子计算机、任意波形发生器、数字延时脉冲发生器、锁相放大器

国仪量子的核心技术是以量子精密测量为代表的先进测量技术,为全球范围内企业、政府、研究机构提供以增强型量子传感器为代表的核心关键器件、用于分析测试的科学仪器装备、赋能行业应用的核心技术解决方案等优质的产品和服务。

公司源于中国科学技术大学,实验室在高duan科学仪器、关键核心器件的研制领域深耕十余年,多项技术、研究成果突破国际封suo和禁运,并获得 ”中国科学十da进展“” 国家自然科学二等奖“”中国分析测试协会科学技术奖特等奖“等诸多奖项。

公司传承实验室的创新基因与探索精神,为世界的科技工作者提供探知微观世界的一把尺子,获得”2021年安徽省科学技术奖一等奖“”朱良漪分析仪器创新奖“”安徽省新型研发机构“”安徽省量子精密测量创新中心“”安徽省专精特新冠jun企业“等奖项。

公司面向量子科技、材料科学、化学化工、生物医学、工业领域、科学教育、能源勘探等领域,致力于帮助客户更高效地推动技术的发展,探索并创造人类的未来。

 

 

 

 

详细信息

高速扫描电子显微镜 HEM6000

 

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了高速图像采集和成像,同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

核心技术


高速扫描电子显微镜产品优势

高速自动化

全自动上下样流程和采图作业,综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

低压高分辨

样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率

大场低畸变  

跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变

应用领域

 


应用案例

大规模成像

高速扫描电子显微镜产品参数
关键参数 分辨率 1.3nm @ 3 kV,SE;1.9nm @ 3 kV,BSE;
2.2 nm @ 1 kV,SE;3.3 nm @ 1 kV,BSE;
加速电压 100 V~6 kV(减速模式)
6 kV~30 kV(非减速模式)
放大倍率 66~1,000,000x
电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
物镜类型 浸没式电磁复合物镜
样品装载系统 真空系统 全自动控制,无油真空系统
样品监控 样品仓监控水平摄像头 ; 换样仓监控垂直摄像头
样品最大尺寸 直径4英寸
样品台 类型 电机驱动3轴样品台(*可选配压电驱动样品台)
行程

X、Y轴:110mm;

Z轴:28mm;

重复定位精度

X轴:±0.6μm;

Y轴:±0.3μm;

换样方式 全自动控制
换样时间 <15 min
换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理 驻点时间 10 ns/pixel
图像采集速度 2*100 M pixel/s
图像大小 8K*8K
探测器和扩展 标配 镜筒内混合电子探测器
选配 低角度背散射电子探测器
镜筒内高角度背散射电子探测器
压电驱动样品台
高分辨大场模式
样品仓等离子清洗系统
6英寸样品装载系统
主动减震台
AI降噪;大图拼接;三维重构
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

 

 

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产品参数

背散射电子图像分辨率 1.3nm @ 3 kV,SE
产地类别 国产
二次电子图象分辨率 1.9nm @ 3 kV,BSEnm
放大倍数 66~1,000,000xx
加速电压 100 V~6 kV(减速模式)kV
价格区间 700万-1500万
仪器种类 热场发射
应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,地矿,电子
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