国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜-扫描电镜SEM4000Pro
SEM4000超高分辨场发射扫描电子显微镜是一款分析型热场发射扫描电子显微镜,配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计,束流大且连续可调,在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。支持低真空模式,可直接观察导电性弱或不导电样品。标配的光学导航模式,以及直观的操作界面,让您的分析工作倍感轻松。
扫描电子显微镜产品特点
02 分辨率高,30 kV下优于0.9 nm的极限分辨率
03 三级磁透镜设计,束流可调范围大,最大支持 200 nA 的分析束流
04 标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器
06 标配的光学导航模式,中文操作软件,让分析工作更轻松
扫描电子显微镜应用案例
扫描电子显微镜产品参数
关键参数 | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV,SE |
低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa |
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa |
加速电压 | 200 V ~ 30 kV |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x |
电子枪类型 | 肖特基热场发射电子枪 |
样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
低真空模式 | 最大180 Pa |
摄像头 | 双摄像头 |
(光学导航+样品仓内监控) |
行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm |
T: -10°~+70°,R: 360° |
探测器和扩展 | 标配 | 旁侧二次电子探测器(ETD) |
低真空二次电子探测器(LVD) |
插入式背散射电子探测器(BSED) |
选配 | 能谱仪(EDS) |
背散射衍射(EBSD) |
插入式扫描透射探测器(STEM) |
样品交换仓 |
轨迹球&旋钮控制板 |
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |