Novascan紫外臭氧清洗仪 PSD-UV系列
PSD系列产品是数字控制的台式清洗设备,可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。设备配备一个带反射罩的高强度UV格栅灯盘, 和可调节高度的样品台,用于优化样品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系统具有进出气接口。该系统由一个方便的预设置控制器控制,非常容易操作。
•预设置的数字控制器•方便简单的两按键操作 •自动工作:15.30.60.120分钟
•工作进程可以在任何时候手工终止
•系统不能提供加热盘选项
•经济实用的设计使得PSD系列成为受欢迎的选择
•容易安装和使用
Novascan紫外臭氧清洗仪 PSD Pro系列
PSDP 系列产品是研究级的紫外臭氧清洗系统,具有良好的灵活性,能满足有机分子去除和其他众多的应用。可以直接在空气中操作,或是通过其中一个进气口通入氧气来增加臭氧产生。可编程数字控制器可以控制系统进程,来确保精确时间和优化清洗参数。
•可编程数字控制器•数字显示倒计时•轻松升级到热盘选项•可执行暂停和终止指令•内部存储器用于记录之前的参数设置—— 一个强大的系统,提供了增强的进程控制!
PSDP-UVT Pro系列
PSDP-UVT Pro系列带有PID控制的样品加热阶段,可以应用于电子、半导体、光学和科研领域。水银蒸汽灯产生紫外线和臭氧,能够自动清洁硅、氮化硅、玻璃、金属、陶瓷和其他材料。PSDP-UVT系列产品同样可以用来UV治疗、UV图形化、塑造AFM探针形状以及臭氧刻蚀。
PSDP-UVT Pro系列产品附带的加热板可以加速很多应用的清洁过程。
产品特点:
•数字控制加热阶段到150摄氏度
•PSDP-UVT能移除有机污染物
•紫外灯等产生的紫外光波长范围为185nm到254nm
•产生臭氧和分子激发
•在周围空气或氧气常压下操作
•多种气体端口用来进气
一般特性:
电 源:100.120.220.240VAC.50-60周期。样品高度:所有系统都配置可调节高度的样品台,调节灯与样品之间的间距,并带位置锁定,标准样品台尺寸为UV格栅灯大小或更大。UV格栅灯:产生臭氧的低压汞格栅灯,带反射罩。灯管寿命大约为5000小时。UV反射罩:UV反射罩一般比UV格栅灯大一英寸。比如4×4英寸灯管反射罩尺寸是5×5英寸。样品放置:打开清洗腔上盖,露出样品台,允许360度装入样品。安全装置:当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯。进出气口:标准配置2个气接口,可选更多。(PSD-UV3为选项)真空反应腔:选项客户化定制,铝或石英材料。臭氧中和器:中和器和泵用于臭氧排除。(PSD和PSDP选项)
PSD系列产品通过产生185nm和254nm高强度UV光分解有机分子(污染物)。185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的O3臭氧分子。254nm的光同时激发表面的有机分子,使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在时间短并且同时也被254nm光分解,样品台可以调节样品到灯管的距离来优化性能。PSD和PSDP分解有机污染物,然后形成CO2和H2O蒸气,同时也将臭氧分子转变成氧分子。
产品型号尺寸:
产品应用:
基体材料:硅、砷化镓、玻璃、石英、云母、蓝宝石、金属、陶瓷、聚合物、光阻
应用范围:
•AFM探针清洗/尖削
•半导体表面氧化和准备
•光学镜片清洗
•改善表面润湿性能
•提高油漆/涂料/胶水/粘合剂的附着力
•石英和陶瓷表面清洗
•薄膜沉积的准备
•紫外固化
•表面图形化
•臭氧腐蚀