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自由曲面三维面型检测仪

型号
上海纳腾仪器有限公司

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上海纳腾仪器有限公司是从事扫描探针显微镜(SPM)销售的专业公司。公司作为俄罗斯NT-MDT在中国大陆及港、澳地区的经销商(RESELLER),在扫描探针显微镜(SPM)领域有多年的实践经验,拥有一支成熟的销售、技术团队,迄今已累计销售超过100台(套)仪器。



详细信息

自由曲面三维面型检测仪

优势

√ 对各种自由曲面光学元件的表面进行非接触全口径测量

简单、精确、快速、可重复的测量方式,表面无需喷粉处理

√ 自动完成数据比对分析误差,完善的三维分析功能

测量功能


三维面型数据测量

√ 面型逆向分析

 

√ 面型轮廓精度评价

适用对象

自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃、精密模具、玻璃面板、透镜、微透镜阵列、 晶圆片等

测量原理

结构光反射三维重构原理: 多相机拍摄经被测镜面反射的变形的结构光图案,通过重构算法计算被测镜面的三维面型,通过与理想面型数据进行比对,获得自由曲面的面型误差分布和其它分析数据

√ 采用优化系统结构设计、高精度标定方法和先进的重构算法实现高测量精度

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