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VPC-500F8 普乐斯半导体封装等离子清洗机
- 型号
- VPC-500F8
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等离子清洗机,等离子表面处理机
昆山普乐斯电子科技有限公司成立于2010年，是一家集等离子表面处理技术研发、制造、销售和推广于一体的高科技公司。作为一家专业的等离子表面处理应用技术方案公司，普乐斯PLAUX致力于整合等离子表面处理技术、自动化以及人工智能等各要素，注重客户体验与互动，积极参与*材料研发、加工和器件制造工艺的创新。
详细信息
型号 | VPC-500F8 | ||
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
PLC（标配）/PC（可选） | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 7寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W1150×D1400×H1720mm | |
腔体 | 尺寸 | W500×D636×H520mm | |
材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | ||
电极 | 结构尺寸 | 组合柜式， W458×D544×H425mm | |
分隔数量 | 8个料盒 | ||
托架 | 材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | |
形状 | 平板式/滚轮式（可选） | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个；Ar、N2、H2（可选） | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~1000W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 7KW | |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V | |
选购品 | 干式泵、双级旋片真空泵+罗茨泵（泵组）、托架、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件 | ||
